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ムービングコイル駆動による精密制御!軽量案内弁による高速応答を実現
機械変換部に可動線輪型フォースモータを用いたスプール型サーボ弁です。 ムービングコイル駆動による精密制御を行い、主に半導体製造設備の分野で活躍しています。(精密位置決めステージ等) 「流量制御 3方弁/5方弁」、「圧力制御 3方弁」をご用意しています。 【特長】 ■大流量 ■高い分解能、低いヒステリシス ■静圧軸受による低誤差、長寿命 ■少ない内部リーク ■軽量案内弁による高速応答を実現 ■...
メーカー・取り扱い企業: ピー・エス・シー株式会社
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ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁 【空気圧で微細制御を実現します】
小型・軽量、精密、長寿命! ※清浄空気であれば基本メンテナンスフリーで…
【仕様(一部)】 ■AS100(3方弁) ・定格圧力:600kPa ・定格流量:6NL/min ・定格電流:30mA ■AS110-401(4方弁) ・定格圧力:600kPa ・定格流量:4NL/min ・定...
メーカー・取り扱い企業: ピー・エス・シー株式会社
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推力と変位を切り換えて制御する"複合シリンダ"などをご用意!新規開発・…
当社で取り扱う『特殊サーボ弁・特殊アクチュエータ』について ご紹介いたします。 精密なフォースモータによって大型のノズルを連続して開閉し、 出力流量を制御する「ゼロラップ3方弁(低圧・大流量)」や 直線運動と回転運動を組み合わせて制御できる「複合シリンダ」 などをラインアップ。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■圧力制御...
メーカー・取り扱い企業: ピー・エス・シー株式会社
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1~200 NL/min定格流量の空気圧サーボ弁。高応答性、高精度に小…
『空圧サーボ弁 J814シリーズ』は、3方弁もしくは4方弁に対応した高トルク、高応答、高精度な小型空気圧サーボ弁です。 指令信号対制御圧力の再現性が良いので、圧力、力、位置や振動の制御に適しています。真空状態を作り出すこともできます。...
メーカー・取り扱い企業: 日本ムーグ株式会社
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装置の小型化にも貢献!
電気-機械変換部にトルクモータを用いた『ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁』の超小型3方弁のご紹介です。 通常のノズルフラッパ型空気圧サーボ弁と駆動原理は同様次の通りです。 コイルに電流を印可すると、上下磁極との磁気的関係により電流の極性と 大きさに応じたトルクが発生し、アマ...
メーカー・取り扱い企業: ピー・エス・シー株式会社
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可変絞りや動揺防止シリンダなど!様々な製品をご用意しております
空気ばね⾞体傾斜⾞両の流量⽐例弁による⾼速化の実現など、 空気圧を制御することで乗り心地向上に貢献しています。 可動鉄片型フォースモータに直結されたスプール位置を制御する 「流量制御3方弁/圧力制御5方弁」や、空気ばね傾斜機能を備えた 高さ調整弁の「アクティブLV」などもラインアップ。 【ラインアップ(一部)】 ■流量制御弁 ■圧力制御弁 ■動揺防止シリンダ ■振子...
メーカー・取り扱い企業: ピー・エス・シー株式会社
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従来の約2倍の世界最速級の応答性を実現!直動型 高速サーボ弁
ステップ応答 1.5msecと約2倍!高速サーボ弁の導入、油圧サーボシ…
直動型 高速サーボ弁『DAシリーズ』は、 デュアル・ハルバッハ・マグネット・アレーによる強磁界を得て、 その環状空間に差動型ボイスコイルを配置することで従来の倍以上の推力を実現。 応答性・耐コンタミ性に優れており、 安定した油空圧の流量制御が行えます。 高速サーボ弁の導入や、油圧サーボシステムの構築、 そしてコンタミ対策を行いたい方に好適な製品です。 【特長】 ■日・米...
メーカー・取り扱い企業: サンテスト株式会社
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