粉砕機「ワンダークラッシャーWC-3」[岩石・生薬・穀物・木片]

PRとうもろこし、水晶を20秒で粉砕！岩石、生薬、薬草、錠剤、穀物、種子、…

ワンダークラッシャーWC-3は1200ワットのパワーで28000回転の超高速モーターを搭載した高性能粉砕機です。 【特徴】 ◆≪WB-1との違い≫ 粉砕容器部と本体モーター部が分離式になっています。 ◆≪頑丈≫ 容器は3mm厚の頑丈なステンレス製で、錆に強く硬い鉱石類にも対応できます。 ◆≪軽量≫ 容器ホルダーはポリカーボネイト樹脂製です。 ◆≪連続運転可能≫ 本体モーター部...

メーカー・取り扱い企業： 大阪ケミカル株式会社

軽量樹脂製敷板「らくらくばん」

PR手軽に敷けて簡単らくらく養生。車両走行にも適した滑り止め付き！

「らくらくばん」は、滑り止め付き(凸3mm)で、使いやすい3×6サイズ(910mm×1,820mm)、一人でも楽に持ち運びできる超軽量（10kg）の農業専用 軽量樹脂敷板です。 農作業や軽作業、車両走行にも適したプラスチック敷板です。 軽く、丈夫で、下地によくなじむ柔軟性は、敷板、養生シート等広い用途で活躍します。 軽作業場、ハウス周り、防草を兼ねた仮設駐車場、軽トラの荷台、即売場などに...

メーカー・取り扱い企業： 京葉興業株式会社

3連式電子ビーム蒸着装置

メンテナンス性・作業性が簡便！リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を採用…

当製品は、金属材料を対象とし、リフトオフ成膜可能な電子ビーム蒸着装置です。 3連式EBガンはスライド移動機構により、メンテナンス性・作業性が簡便。 基板寸法は最大φ3インチで、リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を 採用しております。 【特長】 ■基板寸法：最大...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

改善成功事例3　有機材料開発用蒸着装置　

改善成功事例　事例3　有機材料開発用蒸着装置　KVD-OLED Evo…

◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の大型のクラスター型蒸着装置を使用していた。 しかしながら、大型の為、巨大なスペースを使用してしまい、 問題が多々発生している。（搬送トラブル・蒸着セルの材料枯渇スピードが 早い・蒸着レートコントロールが困難など）そこで、コンパクトであるが、 最低限、既存装置の仕様を盛り込み、スペックを更にアップした装置が欲しい。...◆◇◆対処法◆◇◆ 弊社...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに…

抵抗加熱蒸着源（金属蒸着）、有機蒸着源（有機材料）、マグネトロンスパッタ（金属・絶縁材）、3種類の成膜コンポーネントをチャンバー内に設置、様々な薄膜実験装置に1チャンバーで対応が可能です。 ◉組み合わせは3種類 1. スパッタカソード + 抵抗加熱蒸着源x2 2. スパッタカソード ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

Play感覚で19�34;コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

省スペース、ハイスペック薄膜実験装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchスパッタリングカソード x 4（又は3inch x 3, 4inch x 2） ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能 【スモールフットプリント・省スペース】 ・デュアルラックタイ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） -3) Max1000℃（SICコーティング） ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(＜30W） システム主制御：�39;IntelliDep�39;制...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

◆◇◆対処法◆◇◆ ◆現状の2軸マニピュレーター(上下軸・回転軸)から、3軸マニピュレーター （上下軸・回転軸・マスク上下軸）への変更を提案した。 （現状の2軸マニピュレーターから新規3軸マニピュレーター製作へ） ◆下部フランジを弊社有機蒸着セル（KOD-Cell）...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

Φ2inchカソード x 4基搭載 同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

ーなど多彩なラインアップで取り揃えております。 TELEMARK社の電子銃は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまでと、豊富で幅広い製品群を用意しております。 また、蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。 TELEMARKのクライオトラップ TVPシリーズ...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

高真空蒸着装置『KW-030D』

水晶振動式膜厚モニター搭載！コンパクト設計でクリーンな成膜が可能

『KW-030D』は、小規模生産用及び各研究機関の実験用として、コンパクト 設計により初心者でも容易に作業ができる高真空蒸着装置です。 ターボ分子ポンプを搭載することにより、高真空での成膜が可能。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング

シエンタオミクロン　蒸着源

様々なタイプの蒸着源をご用意しております

小面積用蒸着源、イオンアシスト小面積用蒸着源、大面積用蒸着源、3源蒸着源、原子状水素源、蒸着源用電源、大面積用蒸着電源、各種蒸着器用ルツボなどをラインナップ。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： シエンタ オミクロン株式会社

ウェハプロセス用真空蒸着装置

膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を実現！高品質の電極膜を安定して形…

て高い稼働率を誇ります。 【特長】 ■信頼性の高い基本構成 ■豊富なオプション機構　 ・蒸発源、多連式電子銃（10kw）、抵抗加熱蒸発源、多元同時蒸着機構 ・高温加熱（最高550℃）＝3面プラネタリードーム　 ・基板クリーニング、イオンガン、ＲＦボンバード機構 ・基板ドーム、3面プラネタリードーム、公転ドーム、高温加熱用公転ドーム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

TELEMARK製イオンソースシリーズは、 1. 軽量コンパクトで装置への取り付け自由が大きい 2. 独特なイオン源デザイン（特許）で非常に小さなサイズながら 3.大きなイオン電流が広範囲に得られます 4.高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く（70～80℃）基板への熱ダメージが少なく、また熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリーです 5.極微...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

【特徴】 ○良好な膜厚分布が得られるように蒸発源と基板治具が配置されている ○電子ビーム式蒸発源は6点式坩堝を採用していますので、 　同一真空中内で6種類の成膜が可能 ○基板はφ75mmで30枚、φ100mmで20枚、φ150mmで9枚収納できる ○入射角±5°以内で成膜可能 ○真空槽内の防着シールドは分割式となっていますので、交換が容易 詳しくはお問い合わせ、またはカタログ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

OPV用蒸着装置『KVD-OLED Evo.6』

コンパクトな設計を実現！有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置

機構で操作可能。 排気操作は前面のタッチパネル(PLC)により操作できます。 【特長】 ■排気シーケンスはPLCにて制御可能 ■金属の蒸着はボート式とルツボ式を標準搭載 ■膜厚計は3センサーを標準搭載 ■金属蒸着源はボート式とルツボ式を標準搭載 ■蒸着室はメンテナンスが容易な防着板を標準搭載 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

電子ビーム蒸着『EFMシリーズ』

豊富なラインアップをご用意！有機分子の蒸着への応用が可能な電子ビーム蒸…

トヤマが取り扱う電子ビーム蒸着『EFMシリーズ』をご紹介します。 UHV条件での超高純度サブモノレーヤーから多層薄膜の成膜に特化。 多くの実績のある「EFM 3」の他、イオンビームアシストタイプの「EFM 3i」 大型サンプル用の「EFM 4」など、豊富なラインアップがございます。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■有...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トヤマ

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

【蒸着技術詳細】蒸着のしくみ

分子を基板表面に堆積させ、薄膜を形成させる技術！真空蒸着について解説！

蒸着のしくみについてご紹介いたします。 「真空蒸着」とは、1.0E-3Pa以下の真空中で金属や酸化物等を電子銃などで 加熱し蒸発させ、発生した分子を基板表面に堆積させ、薄膜を形成させる技術です。 河合光学株式会社は、真空蒸着技術で独自の研究開発を進めてきました...

メーカー・取り扱い企業： 河合光学株式会社

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全て…

【GB対応 MiniLab-026/090主仕様】 ◉ 基板サイズ：最大Φ6�34;(026）、最大Φ10�34;（090） ◉ チャンバ：SUS304製 UHV対応（*090はスライドドア式, 背面メンテナンスドア） ◉ 19inch制御ラックは作業ベンチ下に収納 ◉ MLチャンバー内成膜モジュール： ・抵抗加熱蒸着源（最大4源） ・...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

RIBER社 分子線エピタキシー（MBE）装置

パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等の…

てきました。現在、世界の主要大学や公的研究機関、デバイスメーカー、エピファウンドリー各社がRIBER社のMBE装置を運用しており、データ通信、5G/6G、VCSELレーザー、フォトニクス、センサー、3Dセンシングなど様々な最先端分野の研究または生産ツールとして貢献しています。 日本国内では、伯東株式会社が総代理店として、同社製品の販売と保守サービスを提供しております。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

RIBER　MBEセル（蒸着源）

MBEセル（蒸着源、分子線セル）はエピタキシャル膜の品質において重要で…

てきました。現在、世界の主要大学や公的研究機関、デバイスメーカー、エピファウンドリー各社がRIBER社のMBE装置を運用しており、データ通信、5G/6G、VCSELレーザー、フォトニクス、センサー、3Dセンシングなど様々な最先端分野の研究または生産ツールとして貢献しています。 日本国内では、伯東株式会社が総代理店として、同社製品の販売と保守サービスを提供しております。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

真空蒸着装置『MiniLab-090』（グローブボックス用）

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…

【主仕様】 ・最大基板サイズ：Φ10inch ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可） ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

NEXGENグローブボックスシステム（新時代のガス精製装置付）

再生ガス・再生工程不要の新時代のガス精製装置付きグローブボックスシステ…

精製装置付グローブボックス。 ・酸素濃度、水分濃度１ppm以下を保持、NEXGENシステムによるオートバキ 　ューム・オートパージ・全自動圧力コントロール。 ・全世界に２万台以上の導入実績、63年の歴史を誇る世界基準のグローブボ 　ックスメーカーVAC社製 ...

メーカー・取り扱い企業： 山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

リフトオフプロセス対応真空蒸着装置

高周波・通信デバイスに多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置で…

おり、成膜時の基板の温度上昇を 防ぐ各種機構（基板水冷機構、電子銃用反射電子トラップ、輻射光防止対策） により低温蒸着が可能です。 【特長】 ■蒸着粒子の基板への入射角の垂直性（90°±3°at6インチウェハ） ■基板水冷機構による低温蒸着（70℃以下＝実績値） ■大口径排気系による高速排気とクリーンなバックグラウンドによる緻密な膜質 ■豊富なオプション類による柔軟なハード＆ソ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム【MiniLab】

2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ、…

・有機蒸着限 x 2 2. MiniLab-S060A（スパッタリング装置） ・基板サイズ：Φ8inch ・Φ2�34;マグネトロンカソード x 4源同時スパッタ ・DC, RF両電源対応 3. Load Lockチャンバー ・プラズマエッチングステージ ロードロック室では「RF/DC基板バイアスステージ」による基板表面のプラズマクリーニング、又、同社独自の『ソフトエッチング』技術に...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

【特徴】 ・3軸ロボット機構にて、マスク及び試料搬送が可能 ・搬送室において、基板ホルダー真空封止機構搭載 ・有機材料共蒸着が可能（最大4元） ・有機材料が8種類、同部屋にて仕込み可能 ・有機蒸着室が2部...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

VAC・GENESISグローブボックスシステム

洗練されたシンプルなグローブボックスは使う人を選ばない。再生ガス・再生…

・再生ガス、再生工程不要の新時代のガス精製装置付グローブボックス。 ・シンプルなユーテリティは、優れたコストパフォーマンスと扱いやすさを両 　立。 ・全世界に２万台以上の導入実績、63年の歴史を誇る世界基準のグローブボ 　ックスメーカーVAC社製 ...

メーカー・取り扱い企業： 山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

光学特性をリアルタイムに測定「真空エリプソメーター蒸着装置」

真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定できるエリプソメトリー用蒸着装…

）×410mm（高さ） →エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能　100°/120°/140° →アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：φ96mm） →外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート →真空廃棄ポート（NW40）1ポート ○基板ホルダー構造 →最大基板サイズ：φ110mm →基板加熱もしくは基板冷却構造...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

■小型・大流量 一般的なインラインガスフィルタのサイズで、大流量濾過が可能です。 高い粒子除去性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディアとサポート材は全てフッ素樹脂を採用し、ハウジングにはSUS316L材を使用しております。 ※半導体製造装置からＰＶ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】

真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…

ースを有効活用いただけます。 顕微鏡用試料作成用コーターではありません、電子回路基板、電池、MEMS、新素材開発などの研究開発用途で求められる高品質な薄膜を作成することができます。 ガス系統最大3系統（プロセス圧力APC自動制御）、連続自動製膜（最大20層）、2源同時成膜など豊富な機能を備え、更に基板加熱ヒーター（500℃）、ドライスクロールポンプなど豊富なオプションも用意。 真空引き・成...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着用ボート（タングステン・モリブデン・タンタル材）

【※全185種をラインナップ・在庫！】長時間の蒸着でもフィルム汚染が起…

成に欠かせないツールです。 「厳しい品質管理」「規格品の幅広さ」「特殊形状にも対応可能」など 高品質の蒸着ボートをいつでもご提供できる体制が整っています。 【プランゼージャパンだから！3つの特長】 ■長年蓄積した経験・豊富な製品デザインで適した形状をコンサルティング ■素材メーカーならではの一貫製造。不良時はパウダー材まで辿り検証も ■豊富なラインナップを在庫し、即納体制でご...

メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社

真空装置用冷凍機SUPCOLD

シンプルな構造で低価格を実現。消費電力、設置スペース、GWPの低減にも…

・冷却温度：－100℃～－140℃ ・最大負荷：2,000W～3,500W ・排気速度：100,000～220,000L/sec ・同様の装置に比べて、消費電力の削減、スタンバイ時間が 　短縮されております。 ・冷媒ガス：HFC、HCFC（規制）使用可能...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

真空チャンバーの受託製造

10 -10torrの真空度も対応実績あり。お客様のご要望に沿った真空…

品を製造した経験があり、各仕様の真空部品の在庫を持ち、真空チャンバーの製造に活かします。 2. 加工能力及び設備を完備し社内で材料を切削、加工、溶接、洗浄、組立、リークーテストの作業が可能 3.真空ポンプの修理のチームがあり、予備ポンプを利用して大型真空チャンバーの排気とリークテストを 行います。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

LED光学多層DBR膜形成用真空蒸着装置　Sapio-DBR

LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適！

Sapio-DBR（SGC-S1550i/S1300iシリーズ）は、LED用光学多層DBR膜用に特化した真空蒸着装置で、ドーム内の均一性が良く、生産効率の向上を図ることが可能です。 LED用光学多層DBR膜の成膜に最適です。 【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

有機デバイス蒸着装置　真空エリプソメーター蒸着装置

真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能です！

ｘ410ｍｍ（高さ） ○エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能（100度/120度/140度） ○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ） ○外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート ○真空排気ポート（NW40）1ポート ○最大基板サイズ：Φ110ｍｍ ○基板加熱もしくは基板冷却機構 ○蒸発源：2源（同時2源） ○水晶膜厚計、基板シャッター付き ○高真空ポンプ：ターボポン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

仕様多様化真空フランジ-「ICFフランジシリーズ」

高真空及び超高真空に対応可能の真空部品

日揚科技(Htc)は供給している真空フランジはKF(NW)シリーズ、ISOシリーズとICFシリーズの3種類があります。ICFフランジシリーズ は製品多様に揃えています。 ICFシリーズフランジを分類すると固定型、回転型、ボルト穴タイプ、タップタイプになっています。また、両側に口径を異なる接続の変換...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

広い分野で汎用された金属ベローズ

金属ベローズは各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

日揚科技(Htc Vacuum)は提供できる金属ベローズの種類は溶接ベローズや成形ベローや、フレキシブルチューブの3種類あります。 これらの製品は伸縮性がよくて、各産業の装置配管に汎用されています。例え：半導体・真空装置によく配管の伸縮継手として汎用されます。ベローズの製品もいつも真空装置などの配管工程に使われ...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

電子ビーム蒸着装置

ヤシマの電子ビーム蒸着装置はすべてカスタムオーダー。ムダなく、将来の拡…

写真の基本仕様 4元電子ビーム蒸着装置 電源　3KW 排気系　ターボ分子ポンプ＋ロータリポンプ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

ラボラトリー滴定装置の世界市場の調査レポート

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

2023年9月18日に、YHResearchは「グローバルラボラトリー滴定装置のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」の調査資料を発表しました。本レポートでは、ラボラトリー滴定装置の世界市場につ...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

インフレータブル蒸発器の世界市場の調査レポート

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

2023年8月16日に、YHResearchは「グローバルインフレータブル蒸発器のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」の調査資料を発表しました。本レポートでは、インフレータブル蒸発器の世界市場...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

3源抵抗加熱蒸着装置

EB源増設ポート付！4インチ基板対応で、基板加熱機構と膜厚制御機構を備…

当製品は、金属材料を対象とした3源切り替え式抵抗加熱蒸着装置です。 角型チャンバーにより、メンテナンス性が向上。 4インチ基板対応で、基板加熱機構と膜厚制御機構を備えています。 【特長】 ■基板寸法：100×1...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

Play感覚で19�34;コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

立体形状への成膜加工

平面モノだけでなく、立体モノへの成膜もできます！ご希望の成膜箇所をお聞…

ます。 φ1ｍｍ以下の 小さなもの から、φ500ｍｍ×L500ｍｍの立体物、800ｍｍ×1000ｍｍの平板など、サイズや形状に柔軟に対応可能です。 保持（固定）が難しそうでも、当社には35年以上の豊富な経験とノウハウがありますので、まずはお気軽にご相談ください★...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

Play感覚で19�34;コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） -3) Max1000℃（SICコーティング） ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(＜30W） システム主制御：�39;IntelliDep�39;制...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社