FOUP | イプロスものづくり

『無料サンプル』進呈中！【PDFダウンロード】ボタンからお申し込み方法…

世界の半導体用FOUP・FOSBの市場規模は、2022年に7億2,460万米ドル、2029年には11億5,000万米ドルに達する見通しで、予測期間中 (2023年～2029年) に7.05%のCAGRで成長する見通しで...

FOUPクリーナーの世界市場：全自動FOUPクリーナー、半自動FOUP…

本調査レポート（Global FOUP Cleaner Market）は、FOUPクリーナーのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のFOUPクリーナー市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

フロントオープニングユニファイドポッド（FOUP）の世界市場

フロントオープニングユニファイドポッド（FOUP）の世界市場：13個ウ…

本調査レポート（Global Front Opening Unified Pods (FOUPs) Market）は、フロントオープニングユニファイドポッド（FOUP）のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のフロントオープニングユニファイドポッド（FOUP...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】FOUPロードポートの世界市場

FOUPロードポートの世界市場：モータードライブ、エアドライブ、FOU…

本調査レポート（Global FOUP Load Port Market）は、FOUPロードポートのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のFOUPロードポート市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

FOUPロードポート『TAS450』

ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構…

『TAS450』は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて使用されるFOUP（FrontOpening Unified Pod）を自動的に開閉するための標準ロードポートです。半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループットについて、最高クラスの性能を有し...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社テクニカルセンター

FOUPロードポート『TAS300 Type-4E』

徹底したクリーン化性能、信頼性設計！45nmクリーンテクノロジー

『TAS300 Type-4E』は、徹底した装置クリーン化設計と配線・配管部の稼動時非接触を実現したFOUPロードポートです。微小なバーティクル発生を極限まで抑制。PWP試験において世界最高レベルとなっております。またFOUPごとの微差(公差)に対応する独自機構が、FOUPとロードポ...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社テクニカルセンター

FOUP洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種ボックスの洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能です。【特長】 ■フープ等の複雑な形状に合わせて洗浄 ■洗浄工程を自動化し、洗浄効果が安定 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

FOUPクリーニングシステムの世界市場動向分析2023-2029

FOUPクリーニングシステムに関するグローバル市場分析、市場規模、販売…

2023年4月20日に、QYResearchは「グローバルFOUPクリーニングシステムに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。FOUPクリーニングシステムの市場生...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

FOUP ロードポートのグローバル分析レポート2023

FOUP ロードポートに関するグローバル市場分析、市場規模、販売量、売…

2023年3月28日に、QYResearchは「グローバルFOUP ロードポートに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。FOUP ロードポートの市場生産能力、生産...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

FOUP&FOSB洗浄機の世界市場調査レポート2023-2029

FOUP&FOSB洗浄機に関する調査レポート, 2023年-2029年…

2023年8月29日に、QYResearchは「グローバルFOUP&FOSB洗浄機に関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。FOUP&FOSB洗浄機の市場生産能力、...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

FOUPセンサーの世界市場規模調査レポート2023-2029

FOUPセンサーに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推…

2023年8月29日に、QYResearchは「グローバルFOUPセンサーに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。FOUPセンサーの市場生産能力、生産量、販売量、...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

FOUPクリーナーの世界市場レポート2023-2029

FOUPクリーナー市場の収益、市場規模、販売量、売上高、価格の分析レポ…

2023年1月30日に、QYResearchは「グローバルFOUPクリーナーに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。FOUPクリーナーの市場生産能力、生産量、販売...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

FOUP&FOSB洗浄システム世界市場レポート2023-2029

FOUP&FOSB洗浄システムに関する調査レポート, 2023年-20…

2023年8月29日に、QYResearchは「グローバルFOUP&FOSB洗浄システムに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。FOUP&FOSB洗浄システムの市...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

FOUP/FOSB対応ウエハ移載機（300mmウエハ対応移載機）

本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応ウエハソーター（移載機）です。ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。スループット：　350wph OCR / 850wph transfer...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

FOUPセンサーの世界市場シェア2024

FOUPセンサーの世界市場：メーカー、地域、タイプ、アプリケーション別…

グローバル市場調査レポート出版社であるQYResearchは「世界のFOUPセンサーの供給、需要、主要メーカー、2024 ～ 2030 年レポート」レポートには、世界市場、主要地域、主要国におけるFOUPセンサーの販売量と販売収益を調査しています。同時に、FOUPセンサー...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

全自動FOUP洗浄システム『UPC-12500 SORA』

高品質・高スループット・省エネ！SEMI規格はもちろん、ULやCE規格…

『UPC-12500 SORA』は現代の半導体製造には不可欠な高品質・高スループット・省エネをコンセプトに改良された全自動FOUP洗浄システムです。 SEMI規格はもちろん、CE規格にも準拠。自動搬送システム（AMHS）対応、通信プロトコルはGEM300に対応しており、オンライン管理にも相応しい装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業：ヒューグルエレクトロニクス株式会社

FOUPオープナー

フープドアを自動で開閉するフロントオープンタイプのフープオープナーです。必要な機能のみを搭載していますので、無駄がなく、低価格にてご提供致します。顧客の必要機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。各カスタマイズ仕様につきましては、お気軽にお問い合わせ下さい。 ■特長・コンパクトサイズを実現したことにより、容易に設置が可能です。・カセットドア開閉動作を10秒以内で行います。・カセ...

メーカー・取り扱い企業：レイリサーチ株式会社

【資料】FOUP用真空ガス置換システム『VGX-system』

多数のVGXオペレーションや、特長などを分かりやすく掲載しています！

当資料は、有限会社ベックが取り扱う、FOUP用真空ガス置換システム『VGX-system』のご紹介資料です。現在のパージシステムの概要をはじめ、方法や問題点、VGXの概要、多数のVGXオペレーションなどを掲載。是非、...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ベック

真空デシケーター『FVD-BU』

300mmウェーハのFOUP、FOSB用！シンプルなベーシックユニット…

『FVD-BU』は、ウェーハをFOUP・FOSB（パージポート付）に入れたまま真空保管、脱ガス、乾燥、ガス置換など多目的に使える真空デシケーターです。ウェーハはFOUPの気密性に影響されず、長期間保管可能。チャンバーはFO...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ベック

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

全てのFOUPに対応した SEMI準拠のN2パージロードポート【特徴】 ○FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応 ○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入　フロントパージ方式を採...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ライト製作所本社

300mmウェーハ対応ラージバッチ縦型炉『VF-5900』

最大16個のFOUPストッカー！300mmウェーハ対応のラージバッチ縦…

『VF-5900』は、大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシップモデルのラージバッチ縦型炉です。 300mm・12インチウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能。 LGOヒータの採用で低温～中高温まで優れた温度特性を発揮します。シリコンウェーハ以外にもIGBT、ポリイミド、薄ウェーハなどの熱処理に適しています。 ...

メーカー・取り扱い企業：光洋サーモシステム株式会社営業管理部

HIWIN ウエハロードポート

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。

ハイウィンウエハロードポート (HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。 8インチオープンカセットと12インチメタルキャリアは、適用アダプターをオプションでご選択いただけます。 ...

メーカー・取り扱い企業：ハイウィン株式会社

処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」

【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ

【掲載内容】 ◆自動エッチング装置枚葉式のウエハ自動エッチング装置です。ウエハ搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しローダー、アンローダーはFOUP又はカセット式が有ります。 ◆自動基板用現像装置枚葉式の基板自動現像装置です。現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれウエハにスプレーし高精度の現像処理を行います。又現像方式はスプレ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

300mmウエハー対応クリーンオーブン『SO2-12-F』

300mm(12インチ)ウェーハ対応の半導体製造向けクリーンオーブン

『SO2-12-F』は、FPD製造装置のベストセラー、枚葉式クリーンオーブンの技術を取り入れた半導体製造向けのクリーンオーブンです。 300mm(12インチ)FOUP対応で全自動での運用が可能。50枚/1チャンバーの処理が可能で、2チャンバーまでの増設ができます。ポリイミドキュアなどの低温処理で高スループット、短タクトタイムを実現します。【...

メーカー・取り扱い企業：光洋サーモシステム株式会社営業管理部

石英ガラスウエハ移載装置

オートドアFOSB、FOUPなどのキャリアに対応！自動的に枚葉で移載を…

ット下部は取出、上段は収納です。【各部仕様(抜粋)】 ■ステージ1(ローダー) ・装置正面左側ステージ・対応キャリア：オートドアFOSB(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚) 　FOUP SEMI規格品(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚) ・センサ機能：カセット内のウエハ在荷確認用透過式マッピングセンサを設置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

FOURPロードポートN2パージ改造

現在のFOUPロードポートを8時間でN2パージ機能に改造できるキットを…

3種類のパージ 1. ロード時のパージ 2.　開放時のパージ 3.　アンロード時のパージ...POINT： 1．Power: AC110V, 15A （Port一つ毎につき、電源ソケットが一つ必要です。機台の必要容量は15A。） 2. Gas: XCDA tube: 3/8”, 6Kg/cm2 （実際には5Kg/cm2まで使用可能です。200L/min; Port　一つ毎につ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トリコ東京支店

【調査資料】ウェーハキャリアボックスの世界市場

ウェーハキャリアボックスの世界市場：フロントオープニングシッピングボッ…

析などの情報を収録しています。ウェーハキャリアボックス市場の種類別（By Type）のセグメントは、フロントオープニングシッピングボックス（FOSB）、フロントオープニングユニファイドポッド（FOUP）を対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、IDM、ファウンドリを対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】300mmウェーハキャリアボックスの世界市場

300mmウェーハキャリアボックスの世界市場：フロントオープニングシッ…

報を収録しています。 300mmウェーハキャリアボックス市場の種類別（By Type）のセグメントは、フロントオープニングシッピングボックス（FOSB）、フロントオープニングユニファイドポッド（FOUP）を対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、IDM、ファウンドリを対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【資料】真空EFEM

酸素フリー、高効率のウェーハプロセス！図を用いて分かりやすく説明してい…

。是非、ダウンロードしてご一読ください。【掲載内容】 ■真空ロードポートVLP (Vacuum Load Port)の構成 ■真空EFEMの構成 ■真空EFEMのオペレーション FOUPのローディング ■真空EFEMのオペレーションポートチャンバーとFOUPの真空排気 ■真空EFEMのオペレーションウェーハ搬送（ロード/アンロード） ※詳しくはPDF資料をご覧いただ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ベック

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTM-R3700F』

【～300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作！さまざまな装置レ…

■走行軸無しで広範囲へ動作するウエハ搬送ロボット ■横方向2.7m・高さ方向1.6mの広範囲にアクセスするため、さまざまな装置レイアウトに対応 ■ロボット1台で4FOUPにアクセス。最大8FOUPにアクセス可能。 ■ダブルアーム機構により、ウエハ同時入替動作が可能で省スペース化とスループット向上が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダイヘン

半導体カセット寸法検査装置『FSMシリーズ』

半導体周辺機器検査の新スタンダードを目指して！広視野撮像によってタクト…

『FSMシリーズ』は、FOUP/FOSB/OCの外径寸法測定を行う装置です。 2500万画素カメラ＋専用光学エンジンにより、超高画質での外径寸法が可能。様々な角度から、トップフランジ、サイドフォークリフトフランジ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社清和光学製作所

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

2インチ～12インチ（12.7～300mm）まで装置製作は対応可能です。ウェハに応じてFOUP（フープ）対応やキャリアの製作なども行います。 Si基板をはじめ、GaAs、GaN、LT、LN等小口径化合物基板向けにコンパクトな装置も取り扱っております。開放・密閉兼用のカップ構造...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

EFEM（Equipment Front End Module）

本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応EFEM（Equipment Front End Module）です。ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。スループット：　150wph OC...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

【難加工材成形品例】スーパーエンジニアリングプラスチック成型

PI熱可塑性ポリイミドやPEIポリエーテルイミドによる難加工材成形！

【その他の難加工材成形品例】＜LCP高耐熱1型液晶ポリマー＞ ■240℃オーブン調理器10リットル、光素子パッケージ、　ハンダリフロー用フィルムリング、CF導電FOUPドア ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：東洋樹脂株式会社

300mmバッチクラスタ装置「Sprinter」

枚葉プロセスレベルの成膜品質をバッチ装置で！クラスタシステムにより生産…

標準のクラスター構成は、ALDモジュール2基、予熱および冷却チャンバ、ウエハハンドリングロボット、およびFOUPとの間でウエハをロード/アンロードするEFEMステーションです。既存の製造ラインまたはクラスターに統合できるスタンドアロンモジュールとして購入することもできます。オペレーティングシステムソ...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

膜厚測定装置『LF-1000』

ウェハ・ガラス基板+鏡面基板上の膜厚測定も可能な膜厚測定装置

能 ■薄膜酸化膜、SOI、EG膜、カラーフィルター等の測定に優れる ■標準として3・4・5・6・8・12インチウェハに対応したオートステージ ■ローダ仕様にもオプションで対応可能(カセット・FOUP、ポート数にも応相談） ■測定ヘッド仕様よって、薄膜から厚膜の膜厚測定に対応 ■GEM通信はオプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ラポールシステム

無人搬送車『Intelligent AGV』

作業エリアのマッピングをもとに自律走行できる無人搬送車！

度：走行±10mm（走行単体）、移載±5mm以下（補正後） ■外形寸法：1,100×550×1,760mm（参考値） ■移載機能：マニピュレータロボット搭載（可搬重量10kg） ■搬送対象：FOUPまたはSMIF（2ロット）　　　　　　その他：マガジン、BOX、レチクル、トレイ、カセット ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：ユースエンジニアリング株式会社

ウエハー用EFEM

資材調達の改善により受注後６か月で納品できる

► 丈夫な構造 ► 納期が短い ► 取り付け簡単 ► メンテし易い ► 静かな運転音 ► モジュラーデザイン ► 一般的な環境、クリーンルームに適用日本語の対応が可能なスタッフが在籍しております。ご相談がございましたら、お気軽にお問い合わせください。その他川岳機械製品 ■主な製品(システム) 液晶コンベヤ用システム太陽電池コンベヤ用システム半導体コンベヤ...

メーカー・取り扱い企業：川岳機械株式会社台湾本社

半導体関連装置

ワークの外観検査を目視にて行う装置などを豊富に取り揃えております

ラインアップ特長】＜レーザーマーキング／厚さ測定機＞ ■ワークの厚みを測定し、測定後レーザーマーカーにてワークにマーキングを行う ■搬送ロボットを搭載しており、フルオートで処理が可能 ■FOUPロードポートを搭載 ■レーザーマーカーを搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピクリング

ウェーハ搬送装置『PWT2020』

5枚単位・25枚単位の搬送も対応可能！誤操作防止センサ、緊急停止ボタン…

、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどのローディングエラーを検知します。【特長】 ■省スペース ■静電気対策型 ■光および機械センサーでエラーを監視 ■マッピングセンサー付き ■FOUP・FOSB・H-Square社製メタルカセットに対応 ■クラス10クリーンルーム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4280-AMシリーズ

300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

【特徴】 ○アームバリエーション:280mm ○ロボットのみで3FOUP対応可(300mmウェーハ) ○Z軸バリエーション:300mm、420mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

多階層CR対応クリーン垂直搬送システム

タテの物流をリードする！クリーン環境における安定搬送を実現いたします

層CR間における立体的で効率的な自動搬送ラインを構築できます。垂直往復高速搬送機の「クリーンオートレーター」と垂直連続トレー搬送機の「クリーンハイトレー」をご用意。どちらもFOUP搬送用となっております。【クリーンオートレーター特長】 ■清潔度を保つ機構プラス高能力 ■搬送方向は自由自在 ■発塵を抑えた省スペース設計＋低衝撃 ■クリーン度：クラス1～に対応 ...

メーカー・取り扱い企業：ホクショー株式会社

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

0WCBT) ■ワークサイズ　ウェハー　φ4″～φ8″（300CBTはMAXφ12″) 　マスク　　 □4″～□6″（　　　同　　MAX□9″) ■オプション　ワーク反転機構 FOUPロードポート対応レチクルケース対応 SMIF　POD対応オリフラ／ノッチ合わせ機構イオナイザーオゾン水供給ユニット高圧ポンプユニット薬液供給ユニット機能水供給ユニット...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場

枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可…

洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。【特長】 ■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能 ■自社装置はもちろん、他社装置もフォローOK ■急な仕様変更にも細...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

EFEM・ソータ『TYK2102-2』

クリーン環境下で、ロボットを介してプロセスおよび検出モジュールにウェー…

【製品概要(抜粋)】 ■搬送対象：300mmウェーハ(径：φ300±0.2mm、厚み：775μm) ■キャリア・300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) ・300mm FOSB 25段(SEMI M31) ■電源電圧：単相 AC200V±10% 50/60Hz±5% ■消費電流：4kVA(20A/200VAC...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社