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EFEM
300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。 水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能 ロ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました…
プロトス、カセット間をダメージなく自動移載 ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応 ウェーハとプロトススペーサを自動識別 ワークの高さも自動認識 複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応... 対応カセット 150mmプロトスケース, 150mmカセット 搬送物 150mmシリコンウェーハ, プロトススペーサ(挿間紙) ワークサイズ、プロトス数、カセット数、アライ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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