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薄膜トランジスタの3次元解析ツール
ミュレーターAPSYSを利用した3次元計算の概要を紹介。MaskEditorによるパターン作成、このパターンをもとにプロセスシミュレーション、プロセスシミュレーション結果をもとに薄膜トランジスタ(TFT)の電気的、光的特性をデバイスシミュレーションし結果プロットを表示。...
メーカー・取り扱い企業： クロスライトソフトウェアインク日本支社
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