アッシング | イプロスものづくり

PR優れた耐薬品性で医薬品や工業用など幅広い分野で活躍。豊富なシリーズから…

Aflexブランドの『PTFEライナーフレキシブルホース』は、流体接触面を化学反応が少ないPTFE樹脂でライニングした製品です。優れた耐薬品性を備え、高圧および最大260℃の高温に耐性を発揮。滑らかな内面構造により、液体の流速を確保できます。 CIP/SIPに対応したシリーズもあり、高い衛生性が求められる分野でも活躍。ホースに接着剤を使用しないため、剥離によるコンタミリス...

メーカー・取り扱い企業： Watson-Marlow（ワトソンマーロー）株式会社東京本社、大阪支社

アッシング装置

エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた…

『アッシング装置』は、最大φ12インチ基板を全自動連続処理することができる量産装置です。ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング 及びイオンクリーニングを可能とする汎用...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまた...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

大型プラズマエッチング装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

実績豊富なバッチタイププラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ」をベースとし最大Φ６００ｍｍもしくは５００ｍｍ□までステージを拡大。大型ステージでファインピッチのエッチング・各種有機物のアッシング・表面改質・クリーニングなど幅広いプロセスに対応「従来機種ＥＸＡＭ」同様にウェハ・ガラス・セラミック基板のエッチングを行なうと共に大型実装基板・カット済みのフィルム基板のエッチング・クリーニ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッ…

FA-1は、ICチップ上の各種不良解析のためのパッシベ-ション膜の剥離や各種シリコン薄膜のエッチング、フォトレジストのアッシングなどを効率よく、かつ低損傷で行うドライエッチング装置です。操作方法は簡単で、試料をセットしてボタンを押すだけで使用できます。また、省スペースで場所を選ばず、床置型、卓上型のどちらにも対応が可能で...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社

同軸バレル型アッシング装置

同軸バレル型プラズマ装置

半導体ウエハや小型基板のフォトレジストのアッシング用途の他、等方性プラズマによる全方向からの処理を利用されたい場合に有効です。量産用自動機は50枚一括処理のYSP650Wをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：ヤマトマテリアル株式会社

バッチタイプＳＷＰアッシング装置

ダメージレス、ハイレート、大面積対応、イオンダメージを完全除去、完全ラ…

face Wave excited plasma)による高密度プラズマをイオン遮蔽トラップにてイオンを完全にシールド。基板にラジカルのみを供給。高密度ラジカルによるウェット同等のダメージレスアッシングを実現。ハイレートとダメージレスアッシングを両立。コンパクトなバッチタイプで小型基板・化合物半導体・ＭＥＭＳデバイスに対応ＭＥＭＳ製造プロセスの有機膜犠牲層除去に優れた効果を発揮。ハ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

ロールtoロール式減圧プラズマ処理装置『PR Series』

ロール状フィルム基材の処理に対応。減圧プラズマ処理により、アッシン…

『PR Series』は、減圧下でプラズマ処理が可能なロールtoロールタイプの処理装置です。レジストアッシング、絶縁膜エッチングをはじめ、用途に応じた様々な官能基（親水, 親油, 密着性向上,など）を基材表面に強固に付与することができます。本社にデモ機を完備し、随時プロセス評価処理をお請...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

エキシマUV受託テスト

実験可能サイズ：600×700mm（最大）ランプ照度：50～140…

を生成し少量で均一に酸素濃度の制御が可能【主な用途】・ガラス、フィルムの洗浄表面改質・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化・レジスト除去、アッシング ...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜

Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…

半導体製造工程の一つであるドライエッチングプロセスにおいてウェハ処理を行うと、プロセスガス自体からの生成物やエッチング時の副生成物がチャンバ内壁やチャンバ内のパーツ表面に付着するといった現象が発生すします。これら堆積物の付着によってプロセスの初期と処理後のチャンバ内表面状態が変化することにより、プロセス条件の変動が発生します。このようなプロセス条件の変動を緩和するため、従来技術では製品処理前に類似...

メーカー・取り扱い企業：つばさ真空理研株式会社横浜ラボラトリー

エキシマUV装置（ハンディタイプ）

超小型ハンディ式エキシマUV装置本体重量：3.8kg 寸法：W3…

る高照度、高い均一性・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射・真空環境内でもエキシマランプの点灯可・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減・ランプ毎に照度調整が可能・ランプ有効長：MAX G10サイズまで【主な用途】・ガラス、フィルムの洗浄表面改質・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化・レジスト除去、アッシング

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(前工程向け)

ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界…

2.45GHzのマイクロ波で励起された高密度のプラズマと、イオンの運動エネルギーを抑制することで、ダメージレスのプロセス結果を得ることができます。ウエハープロセスにおけるアッシング、レジスト剥離、MEMSなどのSU-8レジストアッシング、デスカム処理、基板の表面クリーニングや表面活性化など、幅広いアプリケーションに対応できるよう設計されております。...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）

本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）、表面改質等に有効な多目的枚葉式プラズマユニットです。ウエハサイズ50〜200mm（2〜8インチ）、BGA・CSP等に対応しており、プラズマモードは、オペレーションパネルでDPモ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）

本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）等の処理を行う枚葉式プラズマエッチング処理装置です。オペレーションパネルにより、DPモードとRIEモードを切り替える事が出来ます。ウエハサイズ6インチ、8インチに対応していま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

マントルヒータ　Mantle heater

配管部品の均一加熱を実現！CVDエッチング・アッシング装置に適していま…

ワッティーが提供する『マントルヒータ』は、配管・容器加熱用にご使用いただけます。発熱体を使用しない断熱材、保温材の設計製作も承っており、クロス材質も複数ご用意しているので、ご希望の仕様で製作が可能。（400℃以上のご希望の際はご相談ください。）また、サーモスタット、ヒューズ等の過昇温防止素子、及び熱電対、 Ptセンサ等の温度制御素子の取り付けなどオプションで承ります。...

メーカー・取り扱い企業：ワッティー株式会社

2450MHz/1700Wマイクロ波発振器『MPS-17A』

完全空冷式！1.7kWプラズマ励起用のマイクロ波発振器

『MPS-17A』は1.7kWプラズマ励起用のマイクロ波発振器です。電源部と発振部はセパレートタイプになっており、ともに完全空冷式です。基板アッシング装置で多数の導入事例あり。あなたの携帯電話もこの発振器で作られている、かもしれませんよ。 Made in Japan 【特長】 ■低リップルな出力特性のため、プラズマ励起用...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニッシン

バッチ式プラズマアッシング装置　ウエハアッシャー装置

50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウ…

高性能装置を低価格でご提供。 アッシングレート：300Å以上、面内均一性：±20％以下、バッチ間均一性：±20％以下、処理能力：150枚/時間（RF0分で算出）。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格でご提供しております。老朽化した装置...

メーカー・取り扱い企業：ヤマトマテリアル株式会社

量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。高いクリーニング効果を各種基板で実現。基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装置...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

マイクロ波発振器（プラズマ励起用）『MPS-30W-DC』

最大出力3kW 水冷式プラズマ励起用マイクロ波発振器

低出力リップル、RoHS対応、Made in Japan で高品質、サポートも安心です。基板アッシング装置で多数の導入事例あり。あなたの携帯電話もこの発振器で作られている、かもしれませんよ。【特長】 ■低出力リップルで、安定したプラズマを生成します。 ■電源部、発振部はセパレート...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニッシン

プラズマで密着性・接着性の改善、向上！【SURTECH 出展】

【粉体への表面処理や、金属同士の接着性など】プラズマにて表面処理をする…

基板用平行平板プラズマ処理装置】表面を粗面化することで、ノイズを出さずにメッキ処理が可能！無廃液化・低ランニングコストを実現。「PC-RIEシリーズ」は、中型液晶基板、プリント基板等のアッシング、デスミア、表面改質、Ｆ系ガスエッチング等の処理が行えます。チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲートなどを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

プラズマクリーニング装置「POEM」（プラズマクリーナー）

　多機能型プラズマクリーニング装置。サンプルテスト受付中クリー…

ら５００ｍｍ□（φ６００ｍｍ）対応の大型までラインアップ基板寸法や生産ライン構成・生産量に合わせて自動搬送機構を個別設計。ラインの自動化とハイスループット化に対応クリーニング、親水処理、アッシング、ライトエッチング、撥水処理、サンプルテストにより個別プロセス開発に実績豊富...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

デモ動画配信中【材料/特注試験機・高温炉】米倉製作所

[公式]YouTubeにて実験のデモ動画や会社案内・商品紹介動画を掲載…

小規模集中管理システム設計・製作/上位システムとの指令・実績の送受信等 5[ミニマルファブ] 酸化膜形成プロセス-集光加熱/レジスト除去プロセス-水プラズマ(超純水のみを利用し劇薬不要なアッシング)等 6[AE] 非破壊検査（超音波、AE、磁気）機器 ≪主要取引先≫ ・各種メーカー(自動車・鉄鋼・精密機械・マテリアル・半導体等) ・大学・教育機関・公的機関・研究施設...

メーカー・取り扱い企業：株式会社米倉製作所

HCD型高密度プラズマエッチング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓ…

ッチング装置。大口径化が容易で２００ｍｍ以上のウェハやＡ４サイズの矩形基板の処理に適しています。基板サイズは１ｍ□程度を想定しており、中小型ディスプレイパネル、大型フォトマスクのエッチング、アッシングおよび高密度プリント基板のクリーニング、ディスカム、親水化処理などの各種工程に対応しています。...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

真空装置　基板用平行平板プラズマ処理装置　PC-RIEシリーズ

処理可能基板サイズ550×650ｍｍ。無廃液化・低ランニングコストを実…

「PC-RIEシリーズ」は、中型液晶基板、プリント基板等のアッシング、デスミア、表面改質、Ｆ系ガスエッチング等の処理が行えます。チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

平行平板式減圧プラズマ処理装置　真空プラズマ装置

各種基板・フィルムに対し、用途に応じた様々な官能基（親水、親油、密着性…

「PC-RIEシリーズ」は、各種基板/フィルム等に対して、様々な表面改質効果を与える処理が可能です。もちろん、一般的なプラズマ処理装置として、アッシング、エッチング、デスミア等の処理も可能です。チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

プラズマ処理効果を「色で見える化」！セラミックタイプ

プラズマの処理強度や処理時間に応じて連続的に変色しますので、プラズマ処…

AZMARK(R)」。このたびご要望の多かったウエハプロセス向け製品の第1弾として『PLAZMARK(R) "ウエハ型" セラミックタイプ』が登場！電子デバイスのエッチングやアッシングなど、ウエハプロセスの面内分布等の評価にご利用いただけます。【特長】 ■高い耐熱性(400℃)を実現 ■クリーン設計でLEDやMEMSなどの工程に好適 ■基板はシリコン・サファ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サクラクレパス PI事業部

バッチ式プラズマ処理装置　WPA-600S

価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサ。各アッシング条件の管理を…

小型の電力整合方式マッチャーを採用しており、プラズマ整合の高速化を実現しております。整合時間の短縮化により、プラズマ着火時における素子へのチャージアップダメージの低減を実現しております。また本体以外はＰＵＭＰのみの省スペース化を実現しております。...【仕様】 ○処理方式同軸バレル型 ○処理室円筒・縦型・石英チャンバー ○ＲＦ電源 600～2000Ｗ　13.56ＭＨｚ　オートチューニ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エスクラフト

「ガス供給ユニット」※溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も

クラス100、1000のクリーンルーム内で一貫生産！短納期、少量製作に…

φ1/2インチの配管径に対応。溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も承っております。【特長】 ■クリーンルーム内で一貫生産（クラス100、1000） ■CVD、エッチング、アッシング装置のプロセスガス供給ライン、　ベントライン設計・製造 ■多様な配管材料、部品の溶接に対応する豊富なバックデータ ■溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も承っている ■短納期、少量製...

メーカー・取り扱い企業：ワッティー株式会社

高純度アルミナセラミックスADS「電気絶縁性、高強度、耐摩耗性」

ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結…

絶縁性、高強度、耐摩耗性などの特性・半導体やFPD製造用部材としての用途が拡がっている・酸・アルカリやハロゲンプラズマに対して高い耐食性を有する【ADSの用途】・エッチング、アッシング装置用部品・CVD装置用部品・ウェーハ研磨用ラッププレート・ウェーハ搬送用アーム・各種大型製品や複雑形状品の対応が可能です。 ※詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。ディスクリートＩＣ、パワーデバイス、化合物半導体・ＭＥＭＳなど多くのデバイスの量産現場で多様なプロセスで活躍中...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ」サンプルテスト受付中

コンパクトなバッチタイプでサブミクロンのエッチングに対応、サンプルテス…

ＳｉＮ、Ｓｉ系薄膜だけでなく高融点金属や難エッチング材にも対応石英の垂直性エッチング、厚膜レジストの微細加工等ニッチデバイスの加工に最適。プラズマモード切替によるマルチステッププロセスでアッシングやクリーニングまで幅広い用途に積極対応...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

プラズマ装置プラズマクリーナープラズマ洗浄装置カタログ

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…

ラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー（エッチング）、アッシャー（アッシング）の処理目的に合ったプラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。企画から提案まで一環してお引き受けしています。【掲載内容】 ■市場・用途 ■プラズマモードの説...

メーカー・取り扱い企業：ヤマトマテリアル株式会社

溶湯鍛造アルミ鋳込みヒーター（ホットプレート）

アルミ材質が限定されず展伸材でも対応可！ヒーター回りに複合材を内蔵する…

績例（試作含む）】〈半導体製造装置〉 ■サイズ：6インチ・8インチ・12インチ ■使用温度：200～470℃ ■材質：A1070・A5052・A6061・複合材 ■用途：エッチング・アッシング・アニール・CVD 〈産業用製造装置〉 ■用途：真空蒸留再生機など ■材質：AC4C ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：アドバンスコンポジット株式会社本社　富士事業所　

枚葉式プラズマ処理装置　WLP-611S、WLP-600S

価格は低廉であり、搭載されたシーケンサにより各エッチング条件の管理を行…

ＲＦパワーを下部電極に印加（ＲＩＥ方式）又は、上部電極に印加（ＤＰ方式）を実現しております。６～８インチのＳｉ、Ｐｏｌｙ-Ｓｉなどのエッチングやポリミド系樹脂のエッチング及びフォトレジストのアッシングなど多種多様なプロセスに御利用頂けます。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エスクラフト

大型石英加工

多彩な石英ガラス製品を開発・製造！純度が高い合成石英製品の製造ラインを…

mウエハーに対応する石英加工品を供給。また、高純度と優れた耐熱性・耐薬品性という石英の特性を生かし、直径1,000mmを超える大型ベルジャーやチャンバーをはじめとするエッチング・ アッシング用石英部品や、ランプアニール用石英チャンバーなど、確かな加工技術と品質管理の下、多彩な石英ガラス製品を開発・製造しています。【特長】 ■先端設備でさまざまなニーズに対応・大小の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SCREEN SPE クォーツいわき工場

ドライエッチング装置

RIEモードとDPモードの切り替えが可能！特殊表面処理によるメタルコン…

す。 2周波独立印加方式で、特殊表面処理によるメタルコンタミ低減。マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作いたします。ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた装置です。【特長】 ■RIEモードとDPモードの切り替えが可能 ■特殊表面処理によるメタルコンタミ低減 ■省フットプリント ■...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

源 ○膜厚・蒸着速度制御 ○真空機器構成部品 ○分子間相互作用解析装置／ソフトウェア／真空搬送系 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置／巻取式蒸着装置 ○CVD装置／イオン注入装置 ○アッシング装置／自然酸化膜除去装置　エッチング装置／巻取式スパッタリング装置 ○研究開発用装置 ○分析装置 ○凍結真空乾燥装置 ○真空炉／真空蒸留装置／自動ヘリウムリークテスト装置 ○熱処理...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

応用例付きプラズマ技術資料　無償ダウンロード！

基板、樹脂、粉体、医療、半導体…。あらゆる分野で使えるプラズマ技術の応…

ライクリーニング (分解除去処理) ■表面改質処理　　親和性向上(親水化) / 撥水性向上 / 接着性向上 ■半導体・液晶デバイス微細加工向け　　絶縁膜エッチング / レジスト アッシング ■低温焼結 ■滅菌 ※詳しくは技術資料をご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

低圧水銀ランプ

クリーンな殺菌、脱臭と洗浄、改質による接着力をアップさせる低圧水銀ラン…

■光洗浄・光表面改質 ■光酸化水処理・促進酸化水処理 ■難分解有機性ガス分解 ■オゾン発生・オゾン分解 ■イオン化・イオン除去 ■殺菌・貝類の産卵誘発 ■ICメモリー消去 ■光アッシング・光CVD ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：シーズ株式会社

プラズマクリーナー装置『SPE-2136A』

2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献

『SPE-2136A』はφ4～φ6インチウエハに対し、残渣除去・表面改質・アッシング処理が可能なプラズマクリーナー装置です。自動搬送機構が付属しており、ウエハ割れの防止やウエハ移載にかかる人件費・作業時間を削減可能。プロセス室はウエハを2枚同時に処理でき、 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

豊富な実績！プラズマ処理加工【小ロット・短納期に対応！】

プラズマ装置の製造実績をいかし、御社のご希望に合わせてプラズマ処理を承…

■プラズマ関連事業■ プラズマ応用装置の開発、製造、販売【プラズマ装置】・自社製品(カタログ品）の販売・お客様仕様カスタム製品の開発【サポート業務】・既存のアッシング装置の各種改造・メンテナンス・据付/立上のサポート業務...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エスクラフト

還元性プラズマクリーナー『Aqua Plasma クリーナー』

金属酸化膜の安全な還元と洗浄を実現！水蒸気を用いたプラズマ処理装置

『Aqua Plasma クリーナー』は、主に水蒸気を用いたプラズマ処理装置です。金属酸化膜の還元、有機汚れの洗浄、フォトレジストアッシング、親水化などの表面処理を、安全に効率よく行うことができます。銀電極、銅電極の還元、改質、洗浄やその他酸化金属の還元、樹脂の表面改質、親水化、アッシングなどに応用可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社

高出力ECRプラズマ源『EPS-120』

微細加工装置に適用可能！ECR放電型の高出力プラズマ源をご紹介します

』は、微細加工装置に適用できるECR(電子サイクロトロン共鳴) 放電型の高出力プラズマ源です。複数配置により大面積プラズマを実現するモジュールコンセプト。ドライエッチング装置やアッシング装置のソースパワーをはじめ、反応性イオンビーム加工装置(RIBE)のイオン源などに応用できます。【特長】 ■独創的な磁石構成による大容積ECR磁場 ■強力な冷却システムによるkW...

メーカー・取り扱い企業：ノベリオンシステムズ株式会社