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研究・開発施設で実際にお試し頂けます!この機会にNeoDryシリーズの…
◇◆NeoDryシリーズデモ機貸出キャンペーン!◆◇ 『NeoDryシリーズ』は冷却水が不要な空冷式小型ドライ真空ポンプです。 研究・開発施設で実際にお試しいただくことで、樫山工業のNeoDryシリーズの良さを実感してただけます! この機会にぜひお試しください! 【こんなことでお悩みではありませんか?】 〇ポンプや騒音や振動で困ってる… 〇ランニングコスト、...
メーカー・取り扱い企業: 樫山工業株式会社
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ハードプロセス向け!ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロ...
メーカー・取り扱い企業: 樫山工業株式会社
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水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な 水封式真空ポンプ
水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適な 水封式真空ポンプ 【特徴】 ○引火性ガスや腐食性ガスの排気ができる ○摩擦部分が少なく故障がないので連続運転に耐えられる ○低騒音でかつ振動が少ない ○連続排気で脈動がない ○軸封にメカニカルシールを使用し、メンテナンスが容易 ○全機種エルモ形で従来のナッシュ形よりも効率到達圧力がよい ○定流量弁を内蔵し適量給水方式を採用 ○LEH型...
メーカー・取り扱い企業: 樫山工業株式会社
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【デモ機貸出可能!】空冷式ドライ真空ポンプ NeoDryシリーズ
定期メンテナンスは3年毎に一度のロングライフを実現!トータルコストの低…
定期メンテナンスは3年毎に一度のロングライフを実現 トータルコストの低減を追求した、空冷式ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○ポンピング部に接触部が無いため 長期の使用による性能劣化がない ○空冷方式を採用 却水が不要なため、設置場所を選ばない ○ガスバラスト機構の採用により水蒸気排気が可能 ○本ポンプは、完全気密構造ではありません。 ●その他機能や詳細については、カタ...
メーカー・取り扱い企業: 樫山工業株式会社
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高耐久性ドライ真空ポンプ SDEシリーズ
耐久性と省エネを実現し、ランニングコストを低減 あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良により 従来製品に対し、消費電流を40%低減 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード...
メーカー・取り扱い企業: 樫山工業株式会社
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世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現!あらゆる製造装置に組み込みが…
『MU-X シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.35kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【ラインアップ...
メーカー・取り扱い企業: 樫山工業株式会社
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紐づけられた発注実績で適したサプライヤーを選定!調達価格ブレも解消した…
多くの真空機器の製造・開発を行ってきた樫山工業株式会社様での 『CADDi DRAWER』導入事例をご紹介します。 同社では、設計担当者や発注に関わった調達担当者しか図面の詳細が 分からない状態であり、過去の類似案件の図面を探すには...
メーカー・取り扱い企業: キャディ株式会社 東京拠点
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コスト削減にオーバーホールをご検討ください!荏原、Edwardsなど各…
■対応メーカー ・荏原(ドライ) ・エドワーズ(ドライ/ロータリー) ・アルカテル(ドライ) ・ライボルト(ロータリー) ・樫山工業(ドライ/ロータリー) ・日立 など ※詳細な対応機種については、ホームページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ピーエムティー 本社・工場
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あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ!プロセス性能に特化
『SDE-TXシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA...
メーカー・取り扱い企業: 樫山工業株式会社
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あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ!省エネに対応
『SDE-Xシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 消費電力1.3kW、多彩な設定で幅広いプロセスに対応。 SDEの耐プロセス性を継承した省エネモデルです。 【ラインアップ】 ■SDE90X ■SDE30...
メーカー・取り扱い企業: 樫山工業株式会社
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省エネ「だけじゃない」!世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現
『MU-P/Hシリーズ』は、省エネでありながら、プロセス耐性に優れた ルーツ型ドライ真空ポンプです。 軽負荷から中負荷までのあらゆる製造装置に組み込みが可能です。 「MU-Hシリーズ」は、更なる耐プロセス性向上のため、HOT-N2パージの 搭載も可能です。 【特長】 ■プロセス耐性:ポンプ高温化、パージ増量 ■消費電力0.7kW:プロセス向けルーツ型ポンプ省エネタイプ ...
メーカー・取り扱い企業: 樫山工業株式会社
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