半導体製造装置の製品一覧
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【コーター】小型塗工機、低価格、短納期、試作、選べる塗布方式
ダイ、グラビア、ロールコート、ロールtoロールの装置を小型、低価格、短納期で製造いたします。 テスト塗工できます。
コアボックスジャパンはコーターやロールプレスなどの二次電池試作設備、 高機能フイルム関連のコーターなどの装置を低価格、短納期で提供します。 また、制御盤設計製作、制御システムの構築を得意とする電気…
メーカー・取扱い企業： 株式会社コアボックスジャパン
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Micro Point Pro（マイクロポイントプロ）株式会社
ウェッジボンディングツールをはじめ、世界で9000台以上の実績を持つ卓上型マニュアルワイヤーボンダーをご用意。サポート体制も充実
Micro Point Pro（マイクロポイントプロ）株式会社は、設立から40年の経験と専門知識を保有し、 半導体およびマイクロ電子デバイスアセンブリ業界向けの商材を幅広く取り扱っています。 イスラ…
メーカー・取扱い企業： Micro Point Pro ltd株式会社 本社
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難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能
当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等…
メーカー・取扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加で高品位かつフレキシブルな成膜をする装置です
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数…
メーカー・取扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社
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エアステージLBTシリーズ
エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm …
メーカー・取扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社
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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】
クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着ができます！
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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高品質・高精度の製品を製作。アルミ部品は平行・平坦度2/100mmに対応。半導体装置向け部品などの依頼に短納期で対応可能
アルミ・鋼の角物の加工を手掛ける当社は、高性能な立型マシニングセンタや 横型マシニングセンタをはじめとする設備を多数導入しており、 高品質・高精度の製品ニーズにお応えしています。 アルミで2…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ジーエスピー
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【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型薄膜実験装置。
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込…
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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小型・軽量で高効率！熱電対、サーモスタットを標準装備し、IN/OUTの継ぎ手変更に対応
ワッティーが提供する『WEXシリーズ』は、継手や配管など接ガス部は オールステンレス(SUS316L)製のガス加熱用高効率ヒータです。 サイズ別に適した仕様を実現し、最小流量10L/min～最…
メーカー・取扱い企業： ワッティー株式会社
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配管部品の均一加熱を実現！CVDエッチング・アッシング装置に適しています
ワッティーが提供する『マントルヒータ』は、配管・容器加熱用に ご使用いただけます。 発熱体を使用しない断熱材、保温材の設計製作も承っており、 クロス材質も複数ご用意しているので、ご希望の仕様…
メーカー・取扱い企業： ワッティー株式会社
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緊密で親密なエンジニアリングサポート！独自に設計された効率的な製造プロセスを適用
Micro Point Pro株式会社は、ヘビーワイヤーウェッジ(HWW)と大型リボン用ウェッジの サプライヤーであり、自動車、電気自動車(EV)、半導体など、様々なタイプの アプリケーション向けのパ…
メーカー・取扱い企業： Micro Point Pro ltd株式会社 本社
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自動車、電気自動車（EV）、半導体向けなど、様々な用途に対応。”最低限のボンディングコスト”でお客様をサポートします。
Micro Point Pro株式会社は、自動車、電気自動車（EV）、半導体向けなど、さまざまな用途に対応するパワーデバイスの主要メーカーをサポートする、太線ワイヤーウェッジ（HWW）や大型リボン用ウ…
メーカー・取扱い企業： Micro Point Pro ltd株式会社 本社
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技術者必見！高機能フイルム・二次電池等のコーターの選び方をご提案
試作に好適！小型にも対応！豊富な塗布方式で好適なコーターを短納期で提供します。制作実績もご紹介。
コアボックスジャパンの『コーター』は、小規模な研究施設に適した小型のものから、 生産機まで幅広く対応しています。 ダイ、グラビア、ロールコート、バーコート、ディップコートなど、 ロールtoロ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社コアボックスジャパン
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筐体に合ったサイズにカスタマイズFFUの提案が可能です。
貴社製造装置のご要望に応じた特注対応のFFUがご提案できます（※1)。 何なりとご要望をお聴かせください。 【主な特注可能な仕様】 1.FFU外形サイズの自由度 貴社筐体とのマッチング…
メーカー・取扱い企業： トーアメック株式会社
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半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しませんか？生産コストの削減も可能です！
【SEMICON JAPAN2022 Hall2 総合ゾーン＃2134に出展決定】 流体制御に欠かせないPACE圧力コントローラの校正デモが体験できます！高速圧力制御を実感しませんか？ 【生産…
メーカー・取扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社 ＆ GEエナジー・ジャパン株式会社
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ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！
8"工程用Pishowシリーズ： ・Pishow： シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能； 幅広く温度の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； B…
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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ヨーロッパ 発の技術！Leuven instruments装置の日本国内代理店 実験～量産に対応できる堆積式の成膜機種
・Shale Cシリーズ：ICP CVD（誘導結合プラズマCVD） 低温条件（<120℃）で緻密な成膜を実現可能 プラズマによる損傷を低減でき、漏れ電流を抑える 高アスペクト比の穴埋めに適…
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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小型で膜厚均一で塗工可能。 試作に最適です。
・小型で少スペース設置可能。 ・シンプル設計で操作簡単。
メーカー・取扱い企業： 株式会社コアボックスジャパン
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Microchip マイクロコントローラ『ATtiny1607』
tinyAVR 0シリーズ！ コンパクトで多機能、幅広いアプリケーションをサポートする新しいAVR
『ATtiny1607』ファミリは、コアから独立したハードウェアベースの 周辺モジュール（CIP）と、低消費電力機能を備え、効率的なリアルタイム 制御やセンサーノードアプリケーションに好適なマイク…
メーカー・取扱い企業： グローバル電子株式会社
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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカスタマイズも可能です。
【SEMICON JAPAN2021に出展いたしました】 多くのお客様にブースにお寄りいただきありがとうございました。 【半導体製造装置の流体制御に】 半導体製造工程においてはプロセスガスの…
メーカー・取扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社 ＆ GEエナジー・ジャパン株式会社
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Microchipバッファ付き高精度参照電圧生成器MCP1501
8種類の電圧に対応する製品を提供！バッファ付きの参照電圧生成器
『MCP1501』は、20mAの電流をシンク/ソースできるバッファ付き 参照電圧生成器です。 参照電圧は、低ドリフトのバンドギャップ回路により生成され、 チョッパー型増幅器はドリフトを低減し…
メーカー・取扱い企業： グローバル電子株式会社
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Microchip 8Chアナログフロントエンド MCP3914
多相エネルギー測定と電力監視に使用可能！高精度な電力計測ができるアナログフロントエンド
『MCP3914』は、8つの同期サンプリングΔΣADC、8つのPGA、 位相遅延補償ブロック、低ドリフト内部参照電圧、デジタル オフセットおよびゲイン誤差構成レジスタ、20MHzのSPI互換高速 …
メーカー・取扱い企業： グローバル電子株式会社
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難しい粉が、諦めていた粉が、能力が不足していた搬送が、よく閉塞する搬送ラインが、このシステムを採用すると一挙に解決！！！
従来の搬送能力で満足出来ない方、増産したいが搬送能力がネックになっている方、よく搬送ラインが閉塞してお困りの方に朗報です。 特許取得！！！ 今までの空気輸送システムの欠点を克服した画期的な搬送…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ワイ・エム・エス 本社営業部
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【今なら延長保証キャンペーン実施中】業界最速クラスの圧力校正器。モジュール式でライン停止時間を短縮、設備コストを低減します。
DruckのDPI5xx シリーズで実績のある完全デジタル制御方式を踏襲、更なる改良を加え高い制御安定性と高速応答を実現しています。新しいピエゾ抵抗式センサを採用することで、計測への更なる高精度化と長…
メーカー・取扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社 ＆ GEエナジー・ジャパン株式会社
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安定した重圧流動(特許取得済)が、メディアの力を最大限に引き出します！
『Mighty・Mild』は、研磨力を上げて、摩耗を抑える重圧バレル機です。 安定した重圧流動により、メディアのムダな摩耗が大幅に減少するため、 メディア消費量が25～70％削減可能。 …
メーカー・取扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材 販売及び受託加工
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半導体、航空宇宙、食品、医療などでマルチに活躍する高性能樹脂！ 切削加工での小ロットからインジェクションでの量産にも対応可能!
PEEKは「高耐熱性」「機械的強度」「耐薬品性」などに優れた熱可塑性高機能樹脂(スーパーエンプラ)。 PEEKは連続使用温度約250℃、融点は334℃で熱可塑性樹脂で最高ランクの熱的特性を誇る。 …
メーカー・取扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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【セラミックスパーツ】 スペーサー・ワッシャー・ブッシュ・ネジ類
『セラミックスパーツ』は、耐熱性、耐薬性、非磁性などに優れ、高い機能性の求める環境下での使用に効果を発揮します。
セラミックスはステンレス鋼などの金属より軽量でありながら、高い耐薬性（耐腐蝕性）、摩耗性、絶縁性を有し、1,000度以上の高温環境でも使用可能な部品です。 電子部品、光学部品、医療部品、半導体部品な…
メーカー・取扱い企業： 株式会社廣杉計器
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半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントローラPACEを導入しませんか？
【MEMS圧力センサの校正検査工程の自動化に】 現在高需要の車載圧力センサ。ドラックの圧力コントローラPACEでエンド・ライン検査を効率化しませんか？試験を自動化することで生産コストが各段に削減でき…
メーカー・取扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社 ＆ GEエナジー・ジャパン株式会社
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ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応可能！
当社は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。 【ドライエッチング機種（一例）】 Pishowシリーズ： ■シリコン、金属、化合物…
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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充実のラインアップ！工作物のバリ・カエリ取り、R付け及び重切削から仕上げ加工に好適
『Eddy-Plus』は、クリアランスコントロール機構を標準装備しており、 研磨時間延長も同時に実現する渦流バレル研磨機です。 バレル槽は固定槽と底部回転槽からなり、回転槽を高速回転させること…
メーカー・取扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材 販売及び受託加工
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パワーロック ＴＦ−ＫＰシリーズ（無電解ニッケルメッキ仕様）
パワーロック ＴＦ−ＫＰシリーズ（無電解ニッケルメッキ仕様）
内外径寸法比が小さく、小径ハブにも取り付け可能なパワーロックＴＦシリーズに、無電解ニッケルメッキ仕様が加わりました。比較的クリーン度の低いクリーンルームでの簡易防錆や、軽度の耐食性が求められる用途に最…
メーカー・取扱い企業： 株式会社椿本チエイン パワートランスミッション事業部門
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パワーロック ＫＥ−ＳＳシリーズ（ステンレス仕様）
ワイドバリエーションが自慢のパワーロックに新たなステンレス仕様、ＫＥ−ＳＳシリーズが加わりました。m6,k6,js6,h6〜h10の幅広い公差軸に対応可能で、本体材質にはオーステナイト系ステンレス材を…
メーカー・取扱い企業： 株式会社椿本チエイン パワートランスミッション事業部門
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卓上型マニュアルワイヤーボンディング装置『IBOND5000』
ウェッジ/ボール設定を簡単に切り替え可能！銅ボンディングにも対応 ※世界中での納入実績9、000台以上
『IBOND5000』は、プロセス開発、生産、研究等で使用される 高度な卓上型マニュアルワイヤーボンディング（ダイボンディング）装置です。 柔軟性を高めるための調整可能なワークホルダーの高さが特長。…
メーカー・取扱い企業： Micro Point Pro ltd株式会社 本社
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【タッピンネジスペーサー】タップ立て作業省略にタッピンスペーサー
タップ立てしながらねじ込み取付可能なスペーサーです
【タッピンネジスペーサー】 オネジ部分をタッピンネジにすることにより、タップ立てしながらねじ込むことができるスペーサーです。 下穴を開けるだけで取付可能の為、作業工程を減らし作業性を向上させます。 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社廣杉計器
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大幅な効率化を実現！高性能、軽量、簡単、長寿命な遠心バレル研磨機のご紹介です
『Vertical Hisi HS-2-4V II』は、生産効率アップで、大幅なコスト削減を サポートする遠心バレル研磨機です。 バレル槽はオールウレタン製で、従来槽に比べ大きく軽量化。 …
メーカー・取扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材 販売及び受託加工
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低コストで様々なニーズに対応するバレル研磨のオールマイティ機をご紹介します
『Rotary Barrel』は、魅力あるイニシャルコストと広い研磨領域を有した 回転バレル研磨機です。 全ての金属、プラスチック、陶磁器、貴石、ガラスなどの バリ、カエリ、 スケール取り、…
メーカー・取扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材 販売及び受託加工
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黒色焼き付け処理により防錆性、耐薬性、装飾性をアップ
【黒色焼き付け処理スペーサー】 黒色焼き付け処理は防錆性（耐食性）、耐薬性を高めつつ、高級感のある黒色に仕上がります。 装飾性にも優れているため、外装部品、工作機械、医療用機器、治具工具などに利用…
メーカー・取扱い企業： 株式会社廣杉計器
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キズのない鏡面仕上げ！専用メディアで、Ra＜0.005μmを実現します
『サイクロフィニッシュ』は、専用メディアで、Ra＜0.005μmを 実現する乾式バレル研磨機です。 ターレット1回転時にスピンドルヘッド3回転、スピンドル9回転します。 スピンドルヘッドは専…
メーカー・取扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材 販売及び受託加工
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ウェッジ/ボール設定を簡単に切り替え可能！広範囲のワイヤおよびリボンのサイズに対応可能
当製品は、プロセス開発、製造、研究、製造サポートに使用される 高度な卓上型デュアル（ボール/ウェッジボンダ）ワイヤーボンディング（ダイボンディング）装置です。 R&Dや少量生産に好適で、ユー…
メーカー・取扱い企業： Micro Point Pro ltd株式会社 本社
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従来のギロチン方式から新工法スイング 方式を採用！シートカッター
ST50、ST100は、従来のギロチン方式から進化したスイング方式を採用したシートカッターです。 ギロチン方式の切断面と比べて美しく高精度な断面を実現しました。 【スイングシートカッターの特徴…
メーカー・取扱い企業： アイセルグループ株式会社
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光沢用研磨石でバリ取り～光沢仕上まで！打痕なく、高度な仕上が可能
『GS-100』は、光沢用研磨石でバリ取り、光沢仕上、面向上など 幅広い加工が可能なジャイロ研磨機です。 研磨能力に対して、研磨石の磨耗が非常に少なく、他バレル研磨機と違い、 タクト運転によ…
メーカー・取扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材 販売及び受託加工
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“トルネード吸引”という新発想が､ブラスト加工の常識を根底から覆します！
『負圧吸引式ブラスト』は、開放端側からエア吸引を行い、他端より研磨材を 乱流吸引させて、製品内部の研掃を行うブラスト工法です。 負圧吸引により、ワーク全てに等速で砥粒が衝突。安定した旋回流を発…
メーカー・取扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材 販売及び受託加工
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超短時間研磨を実現！水平型遠心バレルと縦型遠心バレルをご用意しております
精密加工を可能とし、超短時間研磨も実現する 遠心バレル研磨機です。 「水平型遠心バレル」と「縦型遠心バレル」をラインアップ。 縦型遠心流動の「Vertical」は、硬くて脆い材質のチッピ…
メーカー・取扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材 販売及び受託加工
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リアルタイムに情報をフィードバック！高い再現性＆回転誤差極小のスピンコーター
米国ブリューワーサイエンス社製のスピンコーター『APOGEE』は、 回転精度の再現性、回転誤差ともに＜0.2rpmの高精度を備えた製品です。 独自のデータストリーム技術を採用し、 測定情報の…
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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エアプレスで40kNの高推力を実現
ATプレスは、アイセル独自のパワー機構を採用し、 通常のエアシリンダーより推力を大幅にアップさせたエアプレス機です。 コンパクトでエア源のみで設置できるため、手軽にご使用いただけます。 …
メーカー・取扱い企業： アイセルグループ株式会社
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