• 超音波式局所フラクサ『セレクタフラックス』 製品画像

    超音波式局所フラクサ『セレクタフラックス』

    はんだ付け装置に簡単に組み込めるシステムです。塗布効率が良く無駄が無い!飛散も跳ね返りも無し!つまり環境にもお財布にも優しい!!

    『超音波式局所フラクサ』は、最小約φ3mmのドット塗布や、厚み約3mmの線引き塗布が行えます。 【特長】 ●フラックスミストを微小化することより薄膜塗布ができ、フラックス残差を減少 ●フラッ…

    メーカー・取扱い企業: アルファエレクトロニクス株式会社

  • 高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V) 製品画像

    高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)

    量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置 (8インチウェハまで対応)

    「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(AP…

    メーカー・取扱い企業: 株式会社渡辺商行

  • ボールねじ研磨ユニット『SFBS-UN』 製品画像

    ボールねじ研磨ユニット『SFBS-UN』

    手研磨とは違い、経験の多少の影響がない研磨ユニット!

    『SFBS-UN』は、ボールねじ、外径ねじ溝専用の研磨ユニットです。 縦型機構によりねじ溝左右仕上がりの均一性を向上。 従来工法では得られなかった面精度Ra0.1~0.05を実現可能です。 …

    メーカー・取扱い企業: 株式会社サンシン

  • フォトエッチング技術/拡散接合 製品画像

    フォトエッチング技術/拡散接合

    幅広い金属に対応可能!フォトエッチング技術の利点や拡散接合についてご紹介!

    『フォトエッチング』とは写真の原理を応用して、金属などの材質を 化学的に腐食させることで複雑・微細な形状を作り出す精密加工技術です。 極小・極薄・極細部品や特殊な形状の製品の製造に好適。その他…

    メーカー・取扱い企業: ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社 本社

  • 容積計量チューブポンプ式ディスペンサー『TME』 製品画像

    容積計量チューブポンプ式ディスペンサー『TME』

    チューブポンプのイメージを一新するチューブポンプディスペンサー。 微少量吐出・高速連続吐出・高精度吐出を実現。動画あり

    『TME』はいままで微量吐出には不向き、チューブ交換時の吐出量調整が難しいといったチューブポンプのイメージを一新します。 独自のカム動作を高精度小型DDモーターで低速回転から高速回転で制御します。 1…

    メーカー・取扱い企業: ESER Corporation-Japan(イーサージャパン) さいたまラボ

  • 曲面研磨装置『MH-200L』 製品画像

    曲面研磨装置『MH-200L』

    手では安定しない精度を得られ、確実に歩留まり向上!卓上型で簡単に移動可能

    『MH-200L』は、曲面ラップする為に開発された曲面研磨装置です。 加工するワークによって治具を替える事で前の形状を崩さずに テープラップで超仕上が可能です。 卓上型で簡単に移動可能。…

    メーカー・取扱い企業: 株式会社サンシン

  • 先端アタッチメント交換式研磨装置『KIDF-2065-100』 製品画像

    先端アタッチメント交換式研磨装置『KIDF-2065-100』

    コーナーR面やテーパー部の研磨加工が可能。アタッチメント交換により内径研磨にも対応。

    『KIDF-2065-100』は、テープ研磨工法の技術を応用した 多種多様な形状のワークに対応する先端アタッチメント交換式研磨装置です。 研磨ヘッドの回転機構を搭載し、円筒物の外周面だけではな…

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    メーカー・取扱い企業: 株式会社コバックス

  • 高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V) 製品画像

    高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)

    少量・多品種向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 枚葉式常圧CVD(APCVD)装置(8インチSiCウェハ対応)

    A200Vは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・犠牲膜等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした枚葉式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】  ・絶縁膜・拡散/インプ…

    メーカー・取扱い企業: 株式会社渡辺商行

  • 【ガススプリングの代替に】パワーアシストヒンジ採用事例 製品画像

    【ガススプリングの代替に】パワーアシストヒンジ採用事例

    ガススプリングの代替にパワーアシストヒンジを。ガス抜けがなく省スペースで装置内部を有効活用。

    チップマウンターのカバー開閉部分に パワーアシストヒンジ HG-PA230-25を採用いただきました。 【課題のポイント】 ・ガススプリングを取り付けるスペースが確保できないが、開けるときの…

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    メーカー・取扱い企業: スガツネ工業株式会社 テクノフィールド事業部

  • フィルム貼付装置|セミオートマウンター「FM-903S」 製品画像

    フィルム貼付装置|セミオートマウンター「FM-903S」

    最大8インチまでのセミオート式テーブルトップタイプ・ウェハーマウンター

    オペレーターはワークのセットと取出しのみで、後の作業は全て自動運転いたします。テープ/フィルムの貼付け作業の安定と歩留り向上に貢献いたします。

    メーカー・取扱い企業: 株式会社テクノビジョン 本社

  • クリーンチェックライト「クオンタム」 製品画像

    クリーンチェックライト「クオンタム」

    作業工程のゴミ・ブツを簡単視認!持ち歩き便利なホコリがみえるスーパーライト

    「クオンタム」は作業工程での粗大粒子(ゴミ・異物)や製品の傷を、簡単に目視で確認できるようになります。バッテリー内臓でコンパクトなので気軽に持ち歩け、必要なときにすぐに使うことができます。 ※2…

    メーカー・取扱い企業: NCC株式会社

  • 半自動フォトレジスト現像装置(セミオートデベロッパー) 製品画像

    半自動フォトレジスト現像装置(セミオートデベロッパー)

    自動機を購入するほど生産量が多くないが、プロセスの再現性を求めるお客様向けのセミオートデベロッパーです。

    当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリングユニットを搭載。 自動機を導入するほど生産量が多くないけどもマニュアル機では 工数の問題で導入できない等でお悩みのお客様におススメです! 御社のニー…

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    メーカー・取扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • 外径フィルム研磨 平面研磨装置 フィルム平面ラップ盤 製品画像

    外径フィルム研磨 平面研磨装置 フィルム平面ラップ盤

    【JIMTOFにて実機展示】自動車部品・電気電子部品の粗さ向上・平坦化に

    当社では、『高精度』『環境』をコンセプトに、 各種のフィルム研磨装置を開発し、日本国内、世界にも提供してきました。 今回は当社自慢の研磨機3機をご紹介いたします 1、平面研磨装置 →各種平…

    メーカー・取扱い企業: 株式会社サンシン

  • 精密ディスペンサー装置 GP2【基板実装/LED後工程】 製品画像

    精密ディスペンサー装置 GP2【基板実装/LED後工程】

    高精度維持しながらの安価ディスペンサー決定版! 高速ディスペンスによる生産効率大幅UP! 製造現場の塗布問題解決に最適!

    ☆☆☆進和 精密ディスペンサー GP2☆☆☆ ・基板実装工程 & LED後工程   →高精度/高速処理を実現!    (X-Y繰返し精度:±30μm)   →高速ディスペン…

    メーカー・取扱い企業: 株式会社進和 メカトロシステムセンター

  • 設備 調質アニール機(射出成形) 製品画像

    設備 調質アニール機(射出成形)

    残留応力を取り除くため、一定時間一定温度で加熱した後、徐々に温度を常温まで下げいきます!

    一般的にプラスチックのアニール処理は主に歪み取りが目的になります。 多くのプラスチックは高い圧力で金型に押し込められた状態で冷却されるため 歪みが発生する場合があり、これを残留応力とも言います…

    メーカー・取扱い企業: 多田プラスチック工業株式会社

  • 化粧品原料の分散に利用可能なバッチ式分散機 解砕機 乳化器 製品画像

    化粧品原料の分散に利用可能なバッチ式分散機 解砕機 乳化器

    【デモ機有】ハンドクリームや乳液等スキンケア化粧品の乳化に利用可能!固液混合、液液乳化、湿式粉砕機のIKAベストセラー品

    □回転数はデジタル表示 □選べるシャフトジェネレーター(分散ツール) □幅広い回転数範囲 □幅広い処理量に対応 □過負荷保護機能あり 商品の処理量はラインナップをご覧ください。 【…

    メーカー・取扱い企業: IKAジャパン株式会社

  • 後工程の半導体製造装置に「本当に適した部品」を使用できてますか? 製品画像

    後工程の半導体製造装置に「本当に適した部品」を使用できてますか?

    「チップの引っ掛けキズやひび割れ」「作業時にチップの持ち帰り問題」などの半導体製造装置の課題を「適した部品」で解決した事例を掲載

    当資料は、有限会社オルテコーポレーションが提案した後工程における、半導体製造装置の課題解決事例集です。弊社が得意とする消耗パーツの紹介をはじめ、多くのユーザーが課題に挙げる、チップの破損ダメージについ…

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    メーカー・取扱い企業: 有限会社オルテコーポレーション 本社

  • ブローチボーラー研磨機『PT-1000』 製品画像

    ブローチボーラー研磨機『PT-1000』

    良好な穴加工が可能!ブローチを再研磨し、購入コストを抑えることができます

    『PT-1000』は、ブローチを再研磨し、購入コストを抑えることができる ブローチボーラー研磨機です。 位置決めをはじめ、外周刃研磨や内周刃研磨、ギャッシュ研磨などに対応。 再研磨時、新品と…

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    メーカー・取扱い企業: 田中インポートグループ株式会社

  • フィルム研磨機のフィルム式超仕上げ 無償テスト加工 製品画像

    フィルム研磨機のフィルム式超仕上げ 無償テスト加工

    こんなふうに磨きたい。外径研磨や内径研磨、端面研磨などお気軽にご相談ください

    松田精機は『フィルム研磨機のフィルム式超仕上げ 無償テスト加工』を 承っております。 "研磨工程において、狙い通りの面粗度が出ない""対象ワークの品質を もう一…

    メーカー・取扱い企業: 株式会社松田精機

  • 高トルクNC長尺加工機『FB-5000-20ATC-S』 製品画像

    高トルクNC長尺加工機『FB-5000-20ATC-S』

    ※動画掲載中!高トルク・高剛性化によりドリル45φ、タップM24に対応。ストローク変更など特注OK。作業効率改善事例も公開!

    『FB-5000-20ATC-S』は、当社の主力製品である NC長尺加工機・FBシリーズの、高トルク・高剛性バージョンです。 各軸の剛性を高め、最大ドリル45φ、タップM24までの加工が可能。…

    メーカー・取扱い企業: フジ産業株式会社

  • 【工場・装置の配管設計】コンパクトサニタリーバルブ 製品画像

    【工場・装置の配管設計】コンパクトサニタリーバルブ

    製薬・食品・飲料・バイオテクノロジー・化粧品業界向け

    【本カタログの内容】 半世紀以上も前、初めての製品をデビューさせた当時から、 コンパクトなバルブを作ることがGEMUにとっての大きな使命の一つでした。 その思いから従来のバルブから50%…

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    メーカー・取扱い企業: ゲミュージャパン株式会社

  • 【設備導入】大型パーツ対応 マルチモジュールボンダー 製品画像

    【設備導入】大型パーツ対応 マルチモジュールボンダー

    多様なサイズ 高精度 フレキシブルな対応が可能に!

    ■様々な顧客要望に対応するマルチモジュールボンダーを導入致しました。 【対応例】   ・イメージセンサ:1型、フォーサーズ、APS-C、フルサイズ ・パッケージ:大型イメージセンサ、大型カメ…

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    メーカー・取扱い企業: エスタカヤ電子工業株式会社

  • 自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置(フルオートリソグラフィ) 製品画像

    自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置(フルオートリソグラフィ)

    レジスト塗布~露光~現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォトリソ工程装置の総合メーカーだから実現可能な特殊装置です。

    当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。 設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォ…

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    メーカー・取扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • 基板搬送ケース  GHB-6755 製品画像

    基板搬送ケース  GHB-6755

    LCD(=液晶ディスプレイ)・OLED(=有機EL)用 基板搬送ケース  GHB-6755

    振動テスト・衝撃テスト・落下テスト・結露テスト・トラック輸送テストを 実施しお客様から信頼と、高い評価得ているアルポリケースGHB-6755 ■□■特徴■□■ ■修理可能なため、半永久的…

    メーカー・取扱い企業: 株式会社ディー・アール・エス(DRS)

  • 『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』 製品画像

    『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』

    30μm以下の水滴と蒸気の超音速噴射で、切削油など頑固な汚れもしっかり除去。狭い場所でも洗浄OK

    『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』は、水滴と蒸気を超音速で 噴射することで発生する衝撃波(キャビテーション)と せん断力により異物、汚れを除去する装置です。 電気、純水、圧縮空気(o…

    メーカー・取扱い企業: HUGパワー株式会社

  • クリーンチェックライト「ZEUS」 製品画像

    クリーンチェックライト「ZEUS」

    【新製品】浮遊塵・付着塵をムラムダなく可視化!

    直進性の極みとも言える「ZEUS」は、NCCがこれまでこだわり続けてきた見える化ライトの技術と知識をすべて兼ね備え、いつもそばに置いておきたい、いつも使いたいライトとして未来のものづくり品質に新たな輝…

    メーカー・取扱い企業: NCC株式会社

  • スパッタリング装置『MiniLab-026』 製品画像

    スパッタリング装置『MiniLab-026』

    小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合わせてフレキシブルに構成

    必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレ…

    メーカー・取扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • 複雑な形状のシャフト研磨装置「IRF-1000」 製品画像

    複雑な形状のシャフト研磨装置「IRF-1000」

    複雑な形状のシャフトが研磨できる加工技術!

    従来のフィルム研磨工法をさまざまな角度から駆使し、円筒物の外周部だけでなく、ワークの輪郭に好適角度でコンタクトローラーを押し当てる事が可能な「ワーク輪郭部追従型」フィルム研磨装置を開発しました。 …

    メーカー・取扱い企業: 株式会社コバックス

  • NORDBO(ノーボ)CRAFTMATE(クラフトメイト) 製品画像

    NORDBO(ノーボ)CRAFTMATE(クラフトメイト)

    研磨作業をロボットとともに自動化。3Dカメラと自動経路生成ソフトを組み合わせ、磨き作業をロボットにおまかせ!

    「No Code Robotics」にまい進するデンマークのNordbo Robotics(ノーボ・ロボティクス)がご提供するロボット研磨システム、クラフトメイト。 自動車のボデーやドアなどの金属、…

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    メーカー・取扱い企業: リンケージ株式会社 東京オフィス

  • 半導体チップの移載装置に取り付ける、ピックアップ製品作ります 製品画像

    半導体チップの移載装置に取り付ける、ピックアップ製品作ります

    もうチップにキズはつかない、チップを確実に移載する技術

    半導体の移載には、精密なピックアップツールが必要です。 交換式ゴムコレットは、多種多様なアプリケーションに対応できるピックアップツールであり、デバイスへの傷対策や吸着力アップにも寄与します。 また…

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    メーカー・取扱い企業: 有限会社オルテコーポレーション 本社

  • ロボット型フィルム研磨装置 ※動画付き 製品画像

    ロボット型フィルム研磨装置 ※動画付き

    多軸ロボットによる新たなるフィルム研磨加工法への挑戦!動画でご覧いただけます

    ・軸形に於ける多工程加工の面精度向上を1HEAD対応で可能に ・ガラス・セラミック・樹脂基板等々への端面部の最終面精度向上 ・パワー半導体・シリコンウエハー等の外径円周部の面精度向上 …

    メーカー・取扱い企業: 株式会社サンシン

  • スクリューディスペンサー【LED後工程/基板実装】 製品画像

    スクリューディスペンサー【LED後工程/基板実装】

    スクリュー回転による超精密吐出を実現!LED/ライン塗布/3D塗布への幅広い実績&汎用性!

    【ディスペンス業界 能力値No.1を実現】 ☆☆☆進和スクリューディスペンサー☆☆☆ ・LED後工程/基板実装工程   →スクリュー回転量による塗布量調整    (高粘度材料への対応可能)…

    メーカー・取扱い企業: 株式会社進和 メカトロシステムセンター

  • ウェハー拡張装置|ウェハーエキスパンダー TEX-21シリーズ 製品画像

    ウェハー拡張装置|ウェハーエキスパンダー TEX-21シリーズ

    拡張ステージの駆動にエアシリンダーを採用。シンプル構成により、メンテナンスフリーを実現。

    EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔/ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。 …

    メーカー・取扱い企業: 株式会社テクノビジョン 本社

  • ラボ用、高精度スリットコータ『リサーチコータ』LC-R300G 製品画像

    ラボ用、高精度スリットコータ『リサーチコータ』LC-R300G

    企業や大学の研究室等での実験用途に!様々な塗布条件や材料に対応し、高精度でコンパクトなスリットコーター(ダイコーター)

    液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ1マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア(※)…

    メーカー・取扱い企業: 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

  • タワー型4Uラックマウント AT-GPU-WS000/R400 製品画像

    タワー型4Uラックマウント AT-GPU-WS000/R400

    PCI Express4.0対応、NVIDIA RTX A6000やA100-40GなどAmpereに対応したAI向けサーバ

    AT-GPUシリーズは、AMD EPYC 7002シリーズを搭載し、PCI Express 4.0に対応したNVIDIAの最新アーキテクチャAmpereのGPUをサポート。コストパフォーマンスに優れた…

    メーカー・取扱い企業: アナログ・テック株式会社

  • X線TV検査装置『SFXシリーズ』 製品画像

    X線TV検査装置『SFXシリーズ』

    高倍率・高解像度・高濃度分解能を実現!コンパクトなX線TV検査装置

    『SFXシリーズ』は、世界最小クラスの超微小焦点X線源と、 高感度軟X線I.I.カメラとのカップリングにより、 高倍率・高解像度・高濃度分解能を実現したコンパクトな検査装置です。 BGAやC…

    メーカー・取扱い企業: ソフテックス株式会社 営業本部

  • 石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」 製品画像

    石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」

    縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上)

    「HTC/VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。 【特徴】 ■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ  ・6…

    メーカー・取扱い企業: 株式会社渡辺商行

  • スパッタリングの基礎知識 製品画像

    スパッタリングの基礎知識

    【技術資料を無料進呈】緻密で硬質な成膜が可能!自動車のミラーなどの生産にも応用

    フィルムやガラスの基材の表面に薄膜を形成する手法には、塗布、印刷、 めっき、蒸着などがありますが、金属やセラミックで構成されるナノレベルの 薄膜を精度高く形成するために使われるのが「スパッタリング…

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    メーカー・取扱い企業: デクセリアルズ株式会社

  • 自動ドリル研磨機『PT-3000A』 製品画像

    自動ドリル研磨機『PT-3000A』

    研磨範囲φ3~21mm!円錐形状が自動で創成できる自動ドリル研磨機

    『PT-3000A』は、先端角118°~150°の自動ドリル研磨機です。 シンニング形状はXシンニング。研磨範囲はφ3~21mm。 円錐形状が自動で創成できます。 マニュアル式の「90°…

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    メーカー・取扱い企業: 田中インポートグループ株式会社

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    OTEC / ディスクフィニッシュマシン

    湿式ゼロギャップシステムで極小・薄物ワークなど、厚さ 0.1mm の薄いワークでも変形なしにバレル研磨が可能!

    研磨槽の底面にある回転ディスクを回して生じる過流の中で、ワークのバリ取り・研磨を行う装置です。 ワークとメディアは渦流の中で同じ方向に回転する構造です。 ワークとメディアの比重、重さの違いを利用し…

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    メーカー・取扱い企業: 株式会社シーケービー

  • 小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501) 製品画像

    小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)

    試作・開発・小ロット生産向け NSG(SiO2)/BSG/PSG/BPSG膜成膜用 バッチ式(複数枚同時処理)APCVD装置

    D501は、少量生産/テストや不定形基板へのシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、バッチ式(複数枚同時処理)の常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】  ・異形状・サイズ基板…

    メーカー・取扱い企業: 株式会社渡辺商行

  • 【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置 製品画像

    【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

    小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。

    OLED(有機EL), OPV(有機薄膜太陽電池), OTFT(有機薄膜太陽電池), 又, グラフェン, TMD(遷移金属ダイカルコゲナイド)などの2D材料における成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離…

    メーカー・取扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • 吸着コレットを改善して、半導体チップを確実に搬送 製品画像

    吸着コレットを改善して、半導体チップを確実に搬送

    多彩な先端形状に対応するオルテのコレット。独自で複雑な設計や加工も可能!

    吸着コレットは多様な材質や形状に対応し、ピックアップツールとして利用されます。 ゴム、樹脂、金属、セラミックなど、要件に応じた素材を選択できます。 デバイスへの傷対策や吸着力向上に貢献し、交換が容…

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    メーカー・取扱い企業: 有限会社オルテコーポレーション 本社

  • セパレーター・スリッター上刃下刃固定用ニューマチックシャフト 製品画像

    セパレーター・スリッター上刃下刃固定用ニューマチックシャフト

    コアをクランプして巻くだけでなく、セパレーターディスクやスリッター用の上刃下刃の固定にも使用可能でセット作業の自動化にも貢献!!

    セパレーターやスリッターでも弊社のシャフトが大活躍!! セパレーターディスクやスリッター用の上刃・下刃の固定にも活用できます。簡単に位置調整ができ作業効率が大幅にUP!!また固定位置の調整を設備でも…

    メーカー・取扱い企業: ニューマチック工業株式会社

  • 高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200) 製品画像

    高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)

    量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)

    「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(AP…

    メーカー・取扱い企業: 株式会社渡辺商行

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