CVD装置の製品一覧
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ヨーロッパ 発の技術！Leuven instruments装置の日本国内代理店 実験～量産に対応できる堆積式の成膜機種
・Shale Cシリーズ：ICP CVD（誘導結合プラズマCVD） 低温条件（<120℃）で緻密な成膜を実現可能 プラズマによる損傷を低減でき、漏れ電流を抑える 高アスペクト比の穴埋めに適…
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応可能！
当社は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。 【ドライエッチング機種（一例）】 Pishowシリーズ： ■シリコン、金属、化合物…
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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MRAM用ドライエッチング装置！
反応性イオンエッチング装置(RIE)、誘導結合プラズマ (ICP)エッチング装置、イオンビームエッチング装置(IBE)等のドライエッチング装置など各種取り揃えております。
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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【超耐熱】エンジニアリングプラスチック SCM8000のご紹介
超耐熱・低吸水率・優れた摺動特性を誇るエンジニアリングプラスチックです。
【SCM8000】は高耐熱性ポリイミドを原料に圧縮成形した超耐熱樹脂です。 高温下、腐食環境、何度も摺動する摩耗懸念の有る箇所に対して、優れた性能を発揮します。 エンジニアリングプラスチッ…
メーカー・取扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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耐熱300℃以上！各種スーパーエンプラのご提案が可能です 半導体業界から「高耐熱樹脂の材料枯渇」への代替提案として問合せ増！
『スーパーエンプラ』は主に半導体業界に多く使用される高耐熱樹脂です。 耐熱300℃以上を誇り、汎用～エンプラでも厳しい環境下でも使用可能です。 当社は各材料メーカーの取扱い/ご提案が可能です。 …
メーカー・取扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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高純度を要求される半導体製造工程でのイオン注入には多数のカーボンが使用されます。その高純度カーボンのご紹介です。
高純度、パーティクル低減、高寿命が要求される過酷な製造工程において優れた性能を発揮する高純度カーボンのご紹介です。
メーカー・取扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応可能！！
・ドライエッチング機種 Pishowシリーズ： シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能； 幅広く温度の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； BOSOH工程に…
メーカー・取扱い企業： 日星産業株式会社
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RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター
各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精度に測定するIn-situモニター。
RIBER社で開発されたEZ-CURVEは各種真空装置に取付可能であり、応力、反り、曲率、異方性等の測定が可能なIn-situモニターです。 特徴 1) In-situ応力、反り、曲率、異方性等の…
メーカー・取扱い企業： 伯東株式会社 本社
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最新の制御機能とデータロギング機能を有する、WindowsベースのSCADAパッケージMOCVD装置制御ソフトウエアです。
MOCVD(有機金属気相成長)装置とプロセスをコントロールするための最新のWindowsベースのSCADAパッケージを備えたMOCVD装置制御ソフトウエアです。最新の制御機能とデータロギング機能を有し…
メーカー・取扱い企業： 伯東株式会社 本社
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パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等のために特別設計された各種チャンバーで構成されております。
パッシベーション用MBE装置は、表面パッシベーションまたはレーザーファセットパッシベーションのために特別に設計された各種チャンバーで構成されております。表面やファセット面を保護するために、さまざまなコ…
メーカー・取扱い企業： 伯東株式会社 本社
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Agnitron社 MOCVD装置 In-situ温度モニター
Agnitron社で開発されたAgniTemp-MOCVD In-situ温度モニターは高精度、高安定である温度モニターです。
Agnitron社で開発されたAgniTemp-MOCVD In-situ温度モニターは高精度、高安定性を有する業界最高レベルの温度モニターです。 (1) 圧倒的な温度制御の精度と正確さ (2) …
メーカー・取扱い企業： 伯東株式会社 本社
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Agnitron社 研究開発(R&D)～量産用 MOCVD装置
Agnitron社にて独自開発された、高性能、高スループット先端化合物半導体向けMOCVD装置を提供します。
Agnitron社のAgilisシリーズは、先端化合物半導体エピ成長を可能にする構成オプションを備えた柔軟なプラットフォームです。研究開発用(R&D用)の小型チャンバではシングル又はデュアルチ…
メーカー・取扱い企業： 伯東株式会社 本社
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完全に再生(リファブ)され、アップグレードされたレガシーMOCVD装置を最良のサービス、サポートと共に提供します。
Agnitron社は中古装置の使用履歴、装置特徴を等を熟知しており、ニーズを満たす中古装置の再生（リファブ）、アップグレードを実施します。また材料科学、プロセスエンジニアリングに精通しており、装置のエ…
メーカー・取扱い企業： 伯東株式会社 本社
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大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。現地での排気ガス成分分析による処理剤設計もします。
乾式除害装置「ＭＡＫシリーズ」は、排気ガス中の有害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定し、弊社にて産業廃棄物として処理されます。 トムクリーンを処理対象成分に合…
メーカー・取扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部
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研究・試作に最適な小型プラズマCVD装置『VC-R400F』
独自のLIA方式プラズマ源を採用し、樹脂フィルムや金属箔に超高速、高品質な真空成膜を実現！
『VC-R400F』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、樹脂フィルムや金属箔への超高速、高品質な真空成膜を実現するプラズマCVD装置です。 実験・研究・評価・試作…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ
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研究・試作に最適な小型プラズマCVD装置『VC-R400G』
独自のLIA方式プラズマ源を採用し、ガラス、金属などの平板基材に超高速、高品質な真空成膜を実現！
『VC-R400G』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、ガラス、金属などの平板基材に超高速、高品質な真空成膜を実現するプラズマCVD装置です。 実験・研究・評価・…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ
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小型なボディで装置組込みの省スペース化！
熱を奪われたフィラメントが常に一定温度となるよう、加える電力を自動的に調節する定温度型のピラニ真空計です。 小型なボディで装置組込みの際に省スペース化を図ることができます。 表示は操作しやすいデジ…
メーカー・取扱い企業： 東京電子株式会社
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◉ 大型製造装置設備を使わず、短時間で容易にグラフェン・CNT（SWNT）合成実験が可能 ◉ 1バッチわずか30分！
◉ コールドウオール式による高効率・高精度プロセスコントロール ◉ 急速昇温：RT→1100℃/約3分間 ◉ 高精度温度流量制御・再現性に優れたハイパフォーマンス機
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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最大5800ｍｍまでのアルミフレームの販売が可能！ また、外装ブースなどの「組立品」としても承ります！他社との互換性もあり。
弊社のアルミフレーム及びアクセサリー類は、各種装置・機械の架台、 クリーンブースやフェンス(安全柵)等において、 国内外問わず数多くのお客様の生産設備に幅広く活用されております。 アルミフレ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社タイトウトレーディング 草津本社工場
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熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。
帯域（1.0×10-1Pa）?（1.0×10 4Pa）の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。
メーカー・取扱い企業： 東京電子株式会社
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毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1項 対応可）
緊急除害装置「S-CDシリーズ」は、高圧ガス保安法に対応した緊急用乾式除害設備です。 （高圧ガス保安法一般則第55条第１項） ● 特殊高圧ガス（７種）の他、アンモニア、塩素など、各種ガスの仕様に合…
メーカー・取扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部
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パルスパワーの出力リターン線に、栗田製作所は銅平板をご提案させていただきます。
・広い表面積を有し、高周波特性が良い。 ・出力ケーブルの代用で、インダクタンスを最小に抑えることができます。 ・EMC用の簡易シールドとして使用できます。 ・厚さ0.2mmなので、容易に折り曲げ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部
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高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置 (8インチウェハまで対応)
「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(AP…
メーカー・取扱い企業： 株式会社渡辺商行
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少量・多品種向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 枚葉式常圧CVD(APCVD)装置(8インチSiCウェハ対応)
A200Vは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・犠牲膜等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした枚葉式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 ・絶縁膜・拡散/インプ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社渡辺商行
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小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)
試作・開発・小ロット生産向け NSG(SiO2)/BSG/PSG/BPSG膜成膜用 バッチ式(複数枚同時処理)APCVD装置
D501は、少量生産/テストや不定形基板へのシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、バッチ式(複数枚同時処理)の常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 ・異形状・サイズ基板…
メーカー・取扱い企業： 株式会社渡辺商行
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高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)
「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(AP…
メーカー・取扱い企業： 株式会社渡辺商行
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太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)
結晶Si太陽電池セル量産用 NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置
AMAX1000Sは、「AMAX」シリーズの実績をもとに、太陽電池(セル)製造用に開発された連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 ・156mm角/125mm角ウェハ対応 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社渡辺商行
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高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発
業界に先駆けて新規ＡＬＤ／ＣＶＤ材料の開発に着手してまいりました。その結果、高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発、国内外のお客様より高い評価を得ております。これらは、合成か…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ADEKA
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ダブルフェルールタイプ継手「BI-LOK」【高品質！低価格！】
様々な流体を低温から高温まで確実にシールする継手です！
「BI-LOK」は、ダブルフェルールタイプの継手です。 流体の漏れを防ぐフロントフェルールと、パイプ管の保持を行うバックフェルールとで、流体を確実にシールします！ 高品質なのに、低価格なの…
メーカー・取扱い企業： イハラサイエンス株式会社
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日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です。
・真空装置部の大型が容易に可能で最大長さ4m、直径1.2mの大型装置の納入実績もあります ・完全自動運転のためコスト低減が可能です ・DLC成膜のほかに簡易なイオン注入も可能で新しい材料の開発も可…
メーカー・取扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部
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高温アンモニアに耐性があり、容易に高温が得られる機能部品、高温用ヒータ、構造材。窒化物の単結晶成長からウェハプロセスまで対応。
Momentiveの『超高温用ヒータ』、『窒化ホウ素製品群』および『グラファイト保護コーティング』は、高温の腐食性ガス雰囲気に耐性があり、窒化物単結晶成長やエピタキシャル装置の機能部品として多くの実績…
メーカー・取扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
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コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの薄膜モジュールを組込み、様々な用途に対応するマルチ薄膜装置
Φ2inchカソード x 4基搭載 同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソード…
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。
● 反応副生成ガスにも対応 カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される NH3（アンモニア）の他 副生成される可能性が ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優…
メーカー・取扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部
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独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ
【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で 運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能 その他の特殊材質についても対応可能…
メーカー・取扱い企業： 株式会社四葉機械製作所
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機能性アルミフレームと豊富なアクセサリーのコストダウン【単品はもちろん、面組・立体の「組立品」としても承ります！】
弊社のアルミフレーム及びアクセサリー類は、各種装置・機械の架台や 躯体、クリーンブースやフェンス(安全柵)等において、国内外問わず 数多くのお客様の生産設備に幅広く活用されております。 また最近…
メーカー・取扱い企業： 株式会社タイトウトレーディング 草津本社工場
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高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現
硬質膜・表面処理用途で実績豊富なＰＩＧ式ＤＬＣ膜形成装置を赤外線光学用途に展開。９０％以上の高い透過率を持つＤＬＣ膜を基板両面に一括形成 硬質・高い透過率のＤＬＣ膜を高い生産性で実現。
メーカー・取扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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安定したパルス放電を実現
バイアス電源のパルス化に最適なパルス電源です。
メーカー・取扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部
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熟練したリターン技術による、安定放電が可能な直流(充電）電源です。
・負荷短絡時、高速で出力を停止させる内部保護機能付 ・高速立上がり、短パルス幅を実現
メーカー・取扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部
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【ホットウオール式熱CVD装置】基礎研究に最適なコンパクトサイズ高性能CVD装置
◉ グラフェン, カーボンナノチューブ ◉ ZnOナノワイヤ ◉ SiO2等の絶縁膜など その他, ホットウオール式熱CVD装置として幅広いアプリケーションに対応
メーカー・取扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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他のコネクタでは取付け困難な、狭く限られたスペースに取り付けが可能！
レモコネクタは、長年培った様々な技術・ノウハウの組み合わせで、小型で堅牢な高密度丸型コネクタを実現しました。 レモの超小型・高密度丸型コネクタは、他のコネクタでは取り付け困難な、狭く限られたスペース…
メーカー・取扱い企業： レモジャパン株式会社
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『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中
除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温（180℃）バルブで副生成物を抑制した事例を進呈！
大手バルブメーカーKITZグループの一員である当社は、⽇々進化するエレクトロニクス産業おいてタイムリーな提案こそがお客様にとっての価値と考え、新製品開発とサービス向上に取り組み、お客様と共に成⻑を⽬指…
メーカー・取扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー
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複雑な加熱コイル形状に威力、高周波加熱、温度、発熱、磁場分布が見える！
誘導加熱は様々な機械装置で利用されています。 クッキングのＩＨヒーティングお始め、機械加工、プレス、鋳造に至ります。 課題は誘導加熱コイルが複雑な配置をしておりモデル定義が困難なこと、 温度依存…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ミューテック
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なぜ断熱材『シルサーム』を導入するのか？そのメリットを解説します。
当社では、静止空気以上の断熱性能を誇る、『シルサーム断熱材』を原料から最終製品まで、一貫して製造しております。 『シルサーム断熱材』の特徴 ■ ヒュームドシリカを原料とした断熱材 ■ ナノ粒…
メーカー・取扱い企業： シルサーム・ジャパン株式会社
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FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板成膜装置
FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板成膜装置です。 【特徴】 ・低温(150～300℃)成膜 ・4.5世代ガラス基板に250℃で100nmのSiO2膜を…
メーカー・取扱い企業： 株式会社渡辺商行
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