レジスト装置の製品一覧
-
-
-
「コーティングの効果を事前に確かめておきたい」 そんなニーズにお応えするため、吉田SKTではコーティング面の測定も承ります。
コーティング性能測定サービスは、 自社で生産している材料でコーティングの効果を試してみたい、コーティングの導入を検討しているが選定の方法に困っている。 数値化することが難しいコーティング性能を吉田…
メーカー・取扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ
-
-
-
-
ワークや用途に応じた仕様にカスタマイズが可能です。
薬液によって、SUS仕様、塩ビ仕様にも対応し、お客様の操作性と安全性を両立したドラフトチャンバーです。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
メーカー・取扱い企業： 株式会社ダルトン
-
-
-
-
お客様のご要望に沿ったカスタマイズ仕様。実験機から生産機まで対応可能です。
液晶ガラスやタッチパネルなどに用いられる枚葉基盤を処理する装置です。 【特長】 ■対応ワーク 100mm角～1000mm角まで対応可能。（他のサイズ、形状は別途相談） ■揺動機構（水平揺動・…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ダルトン
-
-
-
-
研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥離性能の高い枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置【テスト可】
通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥…
メーカー・取扱い企業： 日精株式会社 本社
-
-
-
-
自動レジスト現像装置（枚葉式） デベロッパー Developer
枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向上・プロセス安定ニーズにお応えするレジスト現像装置です！
枚葉式フォトレジスト現像装置です。 パドル現像、スプレー現像（1流体、2流体）など様々な現像プロセスに対応できます。 薄型ウェハや角基板など多数実績がございます！ また、厚膜レジスト…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
半自動リフトオフ装置（セミオートリフトオフ機）Lift-off
自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフトオフ装置です。
ウェハ（基板）をセットするだけで自動で搬送・リフトオフ・リンスを行う装置です。 リフトオフはASAP特殊ノズルによる高圧ジェットによりバリも除去し、メタル剥離を行います。 カセット（キャリ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウンタイムが少なく、生産性が高いリフトオフ装置を実現！
ウエハサイズ違いによる段取り替えがなく、生産性UP！ 製品の種類によってインチサイズが違う、将来的に大きいサイズのウエハを処理したいというご要望が大変多いです。 そこで、段取り替えをしない…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
チューブポンプのイメージを一新するチューブポンプディスペンサー。 微少量吐出・高速連続吐出・高精度吐出を実現。動画あり
『TME』はいままで微量吐出には不向き、チューブ交換時の吐出量調整が難しいといったチューブポンプのイメージを一新します。 独自のカム動作を高精度小型DDモーターで低速回転から高速回転で制御します。 １…
メーカー・取扱い企業： ESER Corporation-Japan(イーサージャパン） さいたまラボ
-
-
-
-
自動機を購入するほど生産量が多くないが、プロセスの再現性を求めるお客様向けのセミオートデベロッパーです。
当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリングユニットを搭載。 自動機を導入するほど生産量が多くないけどもマニュアル機では 工数の問題で導入できない等でお悩みのお客様におススメです！ 御社のニー…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
弊社が得意とする【半導体分野向けソリューション】をお客様に合わせてご提案致します！
弊社が得意としているナノオーダーの表面解析機器の他、 半導体プロセス向けのレジスト液、マスクレス露光装置、精密位置制御装置をご提案致します。
メーカー・取扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社
-
-
-
-
-
デジタル指示計「デジタルストレンゲージメータA5000-17」
ロードセルに接続して重量をデジタルで表示します。
ストレンゲージとは、物体のひずみ測定を利用して荷重測定を行う方法です。 この指示計はロードセルに接続して計測結果を表示させます。 【特長】 ■ディスプレイ2タイプ（マルチ、シングル） ■出…
メーカー・取扱い企業： 株式会社テンサー センサーシステム事業部
-
-
-
-
短時間剥離！手動リフトオフ装置（マニュアル機）Lift-off
短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました！
研究開発用途で活躍するマニュアルリフトオフ装置をご紹介します！ アセトンや専用剥離液で一晩浸漬した後に超音波やスプレーでリフトオフをするような長時間工程を短くできます。 当社独自の特殊ノズ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）
逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに必要な露光後ベーク（PEB）対応自動レジスト現像装置です。
枚葉式で現像、全面露光（反転露光、イメージリバーサル）、ベーク、クーリング機能を搭載。 リフトオフ用レジストで逆テーパーの角度を決める重要なPEB。 当社独自プログラムで逆テーパー角度を安定さ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
コンパクト！手動フォトレジスト現像装置（マニュアルデベロッパー）
少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式のため、DIPと違い品質を安定させることができます。
当製品は、枚葉式のマニュアル現像機です。 薬液BOXと処理カップ部分の本体が一緒になったコンパクト仕様です。 マニュアル機をお客様のニーズに合わせて設計から製造・販売しています。 研究開…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
リチルピュアで解決！高純度性に優れたＰＦＡ樹脂リチルライニング
【特長】 〇メタル溶出防止性能に優れたフッ素樹脂ライニング 〇１ｍｍを超える膜厚で安心 〇負圧条件でも使用OK。ベントホール不要。 〇シームレスな皮膜 〇複雑形状に対応 ＰＦＡ樹脂は半…
メーカー・取扱い企業： 日本フッソ工業株式会社
-
-
-
-
電子ビーム描画装置、EUV露光装置、ナノインプリント・リソグラフィ用途 粉体と溶液の2種類を提供可能！
AQM社のH-SiOxは粉体・溶液2種類を提供可能なネガ型のレジストです。 Dow XR-154やFOXと同等の性能を提供可能です。 粉体・溶液はそれぞれに特徴がございます。 【粉体】 長期間の…
メーカー・取扱い企業： オプトシリウス株式会社
-
-
-
-
純水1/4RC 圧縮空気1/4RC！薬液をスプレー塗布する装置
「レジスト液加温塗布装置」は、半導体関連で使用されるシリコンウェハー・ガラス基盤等のワークを、任意のスピードで回転させながら、常温または加温した薬液をスプレー塗布する装置です。 お客様のご要望に、技…
メーカー・取扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社
-
-
-
-
ミカサ社製スピンコーターを組み込んだドラフトチャンバーです
スピンコーターに必要なユーティリティ取合いをドラフト背面側へコンパクトにまとめることで、作業場の安全性と作業性が向上します。 仕様◇ 外装：SS+焼付塗装 内装：SUS304#400相当品 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社ダルトン
-
-
-
-
硬質塩化ビニル樹脂丸棒、工業用プレート(硬質塩化ビニル樹脂板)用補材は、工業用耐蝕材料として幅広く使用されております。
・フランジなどの部品用途や各種装置用途の補強材に幅広く使用されています。 ・優れた耐薬品性で、酸、アルカリ、塩類、油脂などに対して安定した性質を有しています。 ・切削加工、孔開け加工、寸法安定性に…
メーカー・取扱い企業： タキロンシーアイグループ タキロンシーアイ株式会社
-
-
-
-
排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設備が無い場所でも、安全な運転環境を実現できます。
・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ダルトン
-
-
-
-
シリコンから化合物半導体、マニュアル機から量産機まで！取扱製品をご案内！
当カタログでは、株式会社エイ・エス・エイ・ピイが取り扱う 製品をご案内しております。 センター4軸ロボットを採用した「自動レジスト塗布装置」をはじめ、 「マスクアライナー」や「自動リフトオフ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
レジスト加工にて家紋を製作した事例をご紹介
家紋をレジスト加工にて製作した事例をご紹介いたします。 アルマイト銘板は量産性に優れ主に工業用として広く使われております。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【事例概要】…
メーカー・取扱い企業： 株式会社重森産業社
-
-
-
-
量産性に優れている！レジスト加工にて製作した事例をご紹介
レジスト加工銘板を製作した事例をご紹介いたします。 量産性に優れ主に工業用として広く使われております。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【事例概要】 ■レジスト加工 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社重森産業社
-
-
-
-
工業用として広く使用！レジスト加工銘板を製作した事例をご紹介
レジスト加工にて製作した事例をご紹介いたします。 量産性に優れ主に工業用として広く使われております。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【事例概要】 ■レジスト加工 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社重森産業社
-
-
-
-
枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタマイズ致します。
ダルトンのリフトオフ装置は６種のラインナップと６種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。 【ラインナップ】 ・HU型（量産向け）…バッチ、枚葉の併用仕様。よ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ダルトン
-
-
-
-
Zeta Plus(TM) 吸着デプスフィルターECシリーズ
微量金属、微量コロイド除去用、エレクトロニクス・ファインケミカル業界用フィルター
Zeta Plus(TM) 吸着デプスフィルターECシリーズは、ろ材自体がゼータ電位による吸着能力を持っており、通常のフィルターではほとんど除去不可能と考えられる様々な微細粒子、コロイド等を取り除きま…
メーカー・取扱い企業： スリーエムジャパン株式会社 フィルター製品事業部
-
-
-
-
硬質塩化ビニル樹脂板 タキロン工業用連続プレスプレート イーワン
表面状態はプレス製品同様！押出透明板より優れた透明性！
イーワンはカレンダープレス製法と押出製法を組み合わせた連続プレス製法の長所を兼ね備えた工業用硬質塩ビプレートです。鉛フリータイプもご用意しております。
メーカー・取扱い企業： タキロンシーアイグループ タキロンシーアイ株式会社
-
-
-
-
循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置
・多彩な揺動機構を準備しています。手動タイプから全自動タイプまで、仕様やご予算に合わせてご提案します。 【オプション機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ダルトン
-
-
-
-
生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現します。
自動酸・アルカリ洗浄装置。 対応ワークサイズ φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することに…
メーカー・取扱い企業： 株式会社ダルトン
-
-
-
-
試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用した剥離性能の高い 枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置
通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発や、少量生産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。 手狭なスペースでも設置可能なコンパクト設計（従来機から約40％コンパクト化） …
メーカー・取扱い企業： 日精株式会社 本社
-
-
-
-
低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置も作製可能です！
【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現！
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥離力・低消費薬液での膨潤・高圧ジェットリフトオフを実現！
【枚葉式の装置でDIP並みの膨潤】＋【超高圧ジェット】の組み合わせで、取れづらくなったレジストを完全除去！ ●【膨潤＋高圧ジェット】の繰り返し処理でがんこなレジストを除去可能！ ・高温ベークで…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）
高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像装置。厚膜などの現像時間を短くするのに有効です。
N2と現像液を混合して吐出する2流体スプレー方式の現像装置です。 N2の圧力を変更することで、スプレーの吐出圧力を変更することができます。 液の圧力を高め、高圧で吐出す方法や、液量を少なく…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました！
物理力と化学力のW（ダブル）効果リフトオフ！ W効果リフトオフとは？ ・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット（MAX20MPa）により、物理力による剥離 ・溶剤にNMPやDMSOなどの…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）
厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状（円形、扇等）、圧力、流量などを自由に選択できます。
1流体スプレー方式の現像装置です。 現像液の圧力でスプレーをするため、スプレーによるミストが飛び散りにくく、また現像スピードを速くすることができます。 大型基板や厚膜の現像に最適です。 …
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
最短半日見積り／金属部品から樹脂製品まで、半導体製造装置に関わる部品を実績にてご紹介！
（1）精密整列パレット（SUS430） ステンレス材を指定された為、バリが出やすかったのですが、 加工方法と刃物の選定で最小限に留め、仕上げ処置で規定通りにバリをゼロに仕上げました。 （2）ウェハ…
メーカー・取扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社 営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)
-
-
-
-
多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っているからです
当製品は、枚葉式で現像、前面露光（反転露光）、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
材料幅はTAB/CSP/COF用で35mm～160mm、FPC用で250～300mmに対応します！
当製品は、エッチング後にフォトレジスト及び、裏止め剤を 剥離する装置です。 搬送速度は2.0m/min、材料幅はTAB/CSP/COF用で35mm～160mm、 FPC用で250～300mm…
メーカー・取扱い企業： 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
-
-
-
-
静止現像式（パドル）自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）
多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っているからです
枚葉式でウエハ上に現像液を液盛りして現像を行います。 ディップ方式と違い、1枚1枚現像を行うので、プロセスの再現性が非常に高いです。 薬液使用量を最適化することにより、現像液使用量の削減に…
メーカー・取扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
クリニック様、薬局様の会計業務削減に貢献！ ※IT導入補助金(デジタル化導入類型)利用可能
ハヤレジはセミセルフ方式にも対応した医療機関様向けPOSレジシステムです。 電子カルテ・レセコンから出力された患者・請求情報などをデータ連携にて取り込む、 または領収書に請求情報が印字されたバ…
メーカー・取扱い企業： ハヤレジ株式会社
-
-
-
-
190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡ 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理す…
メーカー・取扱い企業： ウシオライティング株式会社
-
-
-
-
セミコンジャパンカタログ展示コーナー
セミコンジャパンカタログ展示コーナーの簡単な内容を申し上げますと、展示会に出展したくてもできない企業様はたくさんございます。そこで、弊社がその出展できなかった企業様のカタログを弊社のブースで展示を致し…
メーカー・取扱い企業： 有限会社竹内広告
-
-
-
-
電子部品生産システム、冷間鍛造自動車部品、クーラント関連機械の総合カタログ
自動省力機器設計・製作および販売を行っている、マトヤ技研工業株式会社の「電子部品生産システム関連機械/自動車部品（冷間鍛造）関連機械/クーラント関連機械 総合カタログ」です。 マトヤ技研工業は自動生…
メーカー・取扱い企業： マトヤ技研工業株式会社
-
