株式会社ピー・ジェイ
最終更新日：2020-09-10 10:45:39.0
08.RGFシリーズ
基本情報08.RGFシリーズ
コンパクト設計・高濾過精度に加えて高耐熱性（460度）を実現したULSI製造用高性能ガスフィルターです。
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。定常流・脈動下において濾過精度０.１〜１０μｍまでの幅広い濾過精度に対応。フィルター構成部材で腐蝕性材料は使用しておりませんので腐蝕や二次生成物の恐れはありません。専用のベーキングヒーターの併用によりＡＰＩＭＳの測定で脱ガス(水分量)１.２ｐｐｂを達成しました。継続使用により０.１ｐｐｂレベルまで可能です。
濾過精度：０.１、０.５、１.０、５.０、１０μｍ 各種
推奨流量：４０Ｌ/ｍｉｎ、６０Ｌ/ｍｉｎ
設計圧力：１７ＭＰａ（２,４６５ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃
最高使用温度：４００℃
粗取り用オールメタルガスフィルター
(株)ピュアロンジャパン製 ガスフィルターです。
定常流・脈動下において濾過精度０.１〜１０μｍまでの幅広い濾過精度に対応。フィルター構成部材で腐蝕性材料は使用しておりませんので腐蝕や二次生成物の恐れはありません。専用のベーキングヒーターの併用によりＡＰＩＭＳの測定で脱ガス(水分量)１.２ｐｐｂを達成しました。継続使用により０.１ｐｐｂレベルまで可能です。 （詳細を見る）
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