外層板用縦型両面露光装置　光 ＦＥ２０５Ｃ

今までの露光装置とはごみ対策が違います！

　　当社独自の基板を立てた状態で露光を行うシステムにより、ごみ問題による歩留まり低下を解消します。

　　　　◆高精度露光
　　　　　・高精度アライメント：２００万画素画像システム、新画像処理システム
　　　　　・安定露光：温湿度コントローラ、イオナイザー装置、楔形真空接合方式
　　　　◆抜群の操作性
　　　　　・マスクの清掃、傷のチェック：引き出しレール
　　　　　・メンテナンス性：駆動部、露光部を分離した装置構成

　　※詳細は『カタログダウンロード』または『お問い合わせ』よりどうぞ！