マイクロ波電源（プラズマ励起用）　MPS-30W-DC

本製品は、周波数２４５０ＭＨｚのマイクロ波を発生する装置で、高電圧発生電源/マグネトロン発振部/接続ケーブルによって構成されます。最大出力は３０００Ｗで、プラズマ放電用の低リップルな出力を実現しています。
検波器付き方向性結合器との組み合わせによって、フィードバック制御による安定したマイクロ波発振を実現します。
完全水冷式。  （詳細を見る）

低出力リップル、RoHS対応、Made in Japan で
高品質、サポートも安心です。

基板アッシング装置で多数の導入事例あり。
あなたの携帯電話もこの発振器で作られている、かもしれませんよ。

【特長】
■低出力リップルで、安定したプラズマを生成します。
■電源部、発振部はセパレートで、レイアウトの自由度が高いです。
■細かい仕様変更等にも極力対応させていただきます。
■Made in Japan

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『MPS-30W-DC』は水冷式インバータ電源のプラズマ励起用マイクロ波発振器です。

プラズマ励起用で、低出力リップル。
電源部と発振部はセパレートタイプで、RoHS対応です。

【特長】
■水冷式インバータ電源
■プラズマ励起用低出力リップル
■電源部と発振部はセパレートタイプ

※詳しくはPDF資料をご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）