透明導電膜エッチング液(ポリ用)『ITOシリーズ』

『混酸ITO-02』 は、FPD 製造プロセスにおける低抵抗ポリITO 電極等の高精細パターニングが可能なエッチング液です。
また、『ITO-301』は、Cuダメージを抑制し、低抵抗ポリITO電極等の構成パターニングが可能なエッチング液です。

【特徴】
■低抵抗 ポリITO 膜のエッチング加工に使用可能
■低温､短時間でポリ ITO 膜、アモルファスITO 膜のエッチングが可能
■ガラス基板へのダメージがない
■型番により、Cuダメージの抑制が可能
■希釈、調合が不要であり、そのままご使用可能

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