枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

特徴】
■装置寸法
　 2700W×1500D×2000H　(200WCBT)
　 3000W×1500D×2000H　(300WCBT)
■ワークサイズ
　 ウェハー　φ4″～φ8″（300WCBTはMAXφ12″)
　マスク　　 □4″～□6″（　　　同　　　MAX□9″)
■オプション
　 ワーク反転機構 　
　 FOUPロードポート対応
　レチクルケース対応
　 SMIF　POD対応
　オリフラ／ノッチ合わせ機構
　 イオナイザー
　オゾン水供給ユニット
　 高圧ポンプユニット
　薬液供給ユニット
　 機能水供給ユニット
　エキシマUVユニット
　 帯電防止器

□その他詳細についてはカタログをご覧ください