G8対応　枚葉スピン式　大型マスク洗浄装置　MSC-1500

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

【特徴】
■塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスに対応
■　レジスト残渣／有機物残渣の剥離洗浄
■　金属粒子や研磨、ダイシング後などの粒子除去洗浄
■　固着微粒子、吸着微粒子の除去洗浄
■　受け入れ洗浄、各種工程間の洗浄（成膜前、露光前、剥離後、エッチング後、
　 バックグラインド後など）パーティクル除去、ファイナル洗浄
■　表面改質洗浄
■　ベベル、端面洗浄など

□その他詳細についてはカタログをご覧ください