【ポジショニングに最適！】ピエゾフレクシャーステージ／高速スキャニングシステム

P-726 PIFOC(R)ナノフォーカスシステムは、高分解能が求められる
今日の顕微鏡アプリケーションで使用されている、開口数の大きい
大型対物レンズに対して、高速ステップ時間を提供するために開発されました。

【特徴】
・大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング／スキャニング
・共振周波数1120Hz（210g負荷時560Hz）
・標準セットリング時間約6ms
・ストローク100μm
・静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現
・分解能～0.3nm
・摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ

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PIFOC(R) P-737高速垂直位置決めシステムは、
顕微鏡検査のためのXYステージで使用するように設計されています。

【特徴】
○高さ方向の高速ピエゾ動作：ストローク～250μm
　（500μmまでカスタマイズ可能）
○ナノメートル分解能
○大きなセンター開口部によって標本押さえに対応
○手動またはモーター駆動のXY OEMステージに機械的に適合
○ミリセカンドレンジの応答時間

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P-753 LISA（リニアステージアクチュエータ）高速ナノポジショナーは
リニアアクチュエータ、およびステージの両方としてご使用頂けます。

【特徴】
○汎用性の高い設計：フレクシャステージまたはアクチュエータ
○分解能0.05nm、高速応答
○静電容量センサーによる高リニアリティ
○摩擦のない精密フレクシャガイドにより、直進性の極めて高い動きを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○真空対応および非磁性バージョンを用意

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極めて精密なP-752シリーズ高速ナノポジショニングステージは、
最大位置決め／スキャニングレンジが35μm、超高速セットリングタイムと、
直進性が非常に高いことが大きな特徴です。

【特徴】
○分解能0.1nm、高速応答
○ストローク～35μm
○静電容量センサーによる高リニアリティ
○フレクシャガイドにより摩擦のない直進性の高い動きを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命

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P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmの
フレクシャガイドナノポジショニングシステムです。

【特徴】
○コンパクト設計：設置面積わずか44 x 44mm
○ストローク～120μm
○分解能～0.2nm
○低コストの機構／電子システム構成
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○Zステージ、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意

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単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50～1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。

【特徴】
○ストローク50～1800μm
○高精度、低コスト
○0.1nmの分解能
○静電容量センサーを内蔵
○0.02%の位置決め精度
○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、Z、XYZバージョン
○真空対応バージョンも用意

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高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、
XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大4mradの範囲での位置決めが可能です。

【特徴】
○2軸および3軸バージョン（XYおよびXYθZ）
○ストローク～200μm
○サブナノメートルの分解能
○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム
○静電容量センサーによる高いリニアリティ
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○センター開口部 66 x 66mm
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命

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P-733 XYおよびXYZピエゾ駆動ステージは、
高速かつ高精度のナノポジショニング／スキャニングシステムです。

【特徴】
○ストローク：XY軸方向に100 x 100μm、高さ方向に～10μm
○静電容量センサーにより分解能～0.1nmを実現
○直動式の高速バージョン
○真空対応および非磁性バージョン
○パラレル制御によるダイナミクスの向上／多軸の精密制御
○パラレル計測によるアクティブ軌道制御
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○透過光アプリケーションに適した50 x 50mmのセンター開口部

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P-734高ダイナミックXYピエゾナノポジショニングステージは、
サブナノメートルの分解能と平坦度の高い動きで、
100 x 100μmのリニアストロークを実現します。

【特徴】
○表面形状解析および走査型顕微鏡に最適な超精密軌道制御
○パラレル制御／計測による応答性の向上／多軸の精密制御
○ストローク：100 x 100μm、56 x 56mmのセンター開口部
○静電容量センサーにより分解能0.4nmを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命

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P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmの
フレクシャガイドナノポジショニングシステムです。

【特徴】
○コンパクト設計：設置面積44 x 44mm
○ストローク～120 x 120μm
○分解能～0.2nm
○低コストの機構／電子システム構成
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、ZおよびXYZバージョンを用意

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PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルの平坦度と直進度を誇ります。

【特徴】
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○動作軸：XYZ軸
〇ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ
○静電容量センサーによる高いリニアリティ
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○比類のないスキャニング平坦度
○高ダイナミックなXYZバージョンを用意、最大6軸のカスタムタイプが可能
○センター開口部66 x 66mm

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P-611.Zステージは、設置面積がわずかに44 x 44mm、
クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。

【特徴】
○コンパクト設計：設置面積はわずか44 x 44mm
○ストローク～120μm
○分解能～0.2nm
○低コストの機構／電子システム構成
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 （詳細を見る）

P-5x8シリーズ、Z/チップ/チルトナノポジショナー／スキャナは、
オープンフレームの高分解能ピエゾ駆動ステージで、
最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。

【特徴】
○1軸および3軸バージョン
○クローズドループの垂直／チルトレンジ～200μm/2mradを実現
　（オープンループは～240μm/2.4mrad）
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○センター開口部66 x 66mm
○静電容量センサーによる高いリニアリティ

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Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、
サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。

【特徴】
○垂直ストローク：50～400μm
○高精度、低コスト
○0.1nmの分解能
○静電容量センサーを内蔵
○0.02%の位置決め精度
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、Z、XYZバージョン
○真空対応バージョンも用意

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P-587.6CDは、ピエゾフレクシャ駆動に基づく、
独自の高精度6軸スキャニング／ポジショニングシステムです。

【特徴】
○表面計測について、6軸すべてのスキャニングと位置決めが可能
○リニアストローク800 x 800 x 200μm
○最大8mradの回転レンジ
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○静電容量センサーでのダイレクト計測により優れたリニアリティを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○6軸すべてのアクティブ軌道制御

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