株式会社マイクロフェーズ　総合カタログ

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基本情報株式会社マイクロフェーズ　総合カタログ

基板の試料表面に各種金属薄膜をコートするための真空蒸着装置

膜厚依存性や蒸発レート依存性を調べるのに非常に便利な機能

高精度真空蒸着装置

基板状の試料表面に各種金属薄膜を成膜し、膜厚が正確に制御でき真空蒸着装置です。
膜厚依存性や蒸発レート依存性を調べるのに非常に便利な機能
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取扱会社株式会社マイクロフェーズ　総合カタログ

◆ナノ成膜装置＝　CNT合成装置、　グラフェン成膜装置、　回転CVD炉、　ロータリキルンCVD装置、　負極材表面へのカーボンコートCVD装置、　ナノ粒子成膜装置、　真空蒸着装置など ◆ナノ材料＝　垂直配向CNT、　CNT分散液、CNT樹脂複合材料、　伸び～るCNTゴムシート、　CNT黒体、　CNT熱伝導シート、　酸化チタン／炭化チタンナノチューブなど

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