セラミック製品　超精密真空チャック

基本情報セラミック製品　超精密真空チャック

材料を創設し、いつの日かを創造する

ポアフリー系セラミックス材を用い、究極の平面平滑性を追求した超精密な真空チャックです。
各種ウエハーに対応し、現在主流のφ300mmサイズにおいてもその平滑性を保証します。

ポアフリー系セラミックス材を用い、究極の平面平滑性を追求した超精密な真空チャックです。
各種ウエハーに対応し、現在主流のφ300mmサイズにおいてもその平滑性を保証します。（詳細を見る）

エンジニアリングセラミックスの製造販売ウェハ、基板等の吸着冶具(セラミックチャック)の製造販売セラミックス溶射受託半導体製造装置の部品再生

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