磁気軸受形複合分子ポンプ02-TGM-15

標準型、ケミカル型に加え、各種特殊仕様（極低振動、反応生成物対策仕様、超高真空仕様、耐放射線仕様）もラインナップ！ （詳細を見る）

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。
反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
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ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。
反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
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ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
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ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。
反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
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反応生成物対策仕様 TG2400MI もラインナップしています。 （詳細を見る）

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ （詳細を見る）

高性能な電子顕微鏡、微細描画装置、分析装置に最適です。 （詳細を見る）

外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温

■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！
■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。

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放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運転を可能にしました。
大強度陽子加速器施設（J-PARC）などに納入！ （詳細を見る）

ターボ分子ポンプ排気ユニットです。
ポンプの組み合わせ、オプション機器の追加などご要望に合わせてカスタマイズ品を製作可能！ （詳細を見る）

コンパクト設計で、持ち運び自在のターボ分子ポンプ排気ユニットです。 （詳細を見る）

○取付姿勢自由自在
取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大！

○優れた耐久性
独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い！

○急速ベント停止
ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。
※一部対応外の機種があります。

○メンテナンスフリー
日々のメンテナンスの必要がありません。
定期的なオーバーホールで、より長くお使いいただけます。 （詳細を見る）

小型から大型まで幅広いクラスをラインアップしております。
ご用途に合わせて排気速度200L/s～5500L/sクラスから最適なポンプを選択頂けます。 （詳細を見る）

コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。

【製品の特長】
○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ
○到達圧力0.5Pa
○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg）
○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー
○TMPの補助ポンプとして利用

●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）