プラズマ関連製品　RFラジカルビーム源　IRFS-504

ICPタイプのRF放電により化学的に活性なラジカルを形成し、差圧によりフラックスを引き出しています。

放電部、引き出し部は高純度PBNで製作しており、活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え、かつクリーンな原子・ラジカルビームを得ることができます。特に窒素ラジカル源として、多くの実績を有しています。