株式会社SPD研究所
最終更新日:2011-07-04 11:29:11.0
SPD薄膜形成装置 KM-150
基本情報SPD薄膜形成装置 KM-150
原料溶液噴霧系を3系統有し、異なった溶液の噴霧による積層製膜が可能!
噴霧熱分解薄膜形成(Spray Pyrolysis Deposition:SPD)法により大気中で短時間・リーズナブルに薄膜形成が可能です。
非真空&卓上サイズ!「SPD 薄膜製造装置シリーズ」サンプル進呈
SPD方式の小型低コスト成膜装置(薄膜製造装置)シリーズです。
SPDの装置は、真空でなくとも生成できるため、クリーンルームも必要なし。
また、設備も卓上タイプでコンパクトなため、実験室や開発現場での使用に最適です。
【特長】
■卓上タイプのコンパクトな薄膜製造装置
■非真空のため、クリーンルームも必要なし
【ラインナップ】
■KM-300 ■KV-25 ■KV-50
■KM-150 ■KV-100
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