株式会社マイクロフェーズ
最終更新日：2009-07-29 13:38:37.0
卓上型カーボンナノチューブ合成装置
基本情報卓上型カーボンナノチューブ合成装置
卓上型カーボンナノチューブ合成装置
主にエタノールを炭素原料として用いた簡易型カーボンナノチューブ合成装置
◆特徴◆
・各種基板（シリコン・石英・チタン・ステンレス・セラミックス他）に
垂直配向したカーボンナノチューブが成膜できる
・全プロセスは２０分程度
◆オプション
ＣＶＤ原料導入用 ＳＵＳチャンバー （液体燃料導入ポート・
炭化水素ガス導入ポート・還元ガス導入ポート・予備ポート）
追加電源セット（電源・ヒーターユニット）
放射温度計
各種安全機構
取扱会社 卓上型カーボンナノチューブ合成装置
◆ナノ成膜装置＝ CNT合成装置、 グラフェン成膜装置、 回転CVD炉、 ロータリキルンCVD装置、 負極材表面へのカーボンコートCVD装置、 ナノ粒子成膜装置、 真空蒸着装置など ◆ナノ材料＝ 垂直配向CNT、 CNT分散液、CNT樹脂複合材料、 伸び～るCNTゴムシート、 CNT黒体、 CNT熱伝導シート、 酸化チタン／炭化チタンナノチューブなど
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