マグネトロンスパッタ装置　ＭＳＰ－４０Ｔ型の製品カタログ3

特殊金属全般のコーティングが可能！ 多目的､多金属､実験用イオンスパッタ成膜装置です。フルオートコーティングで簡単操作を実現。

MSP-40Tは多目的、多金属、実験用イオンスパッタ成膜装置です。スパッタし易い貴金属の他、Al, Cu, Cr, Ni, Mo, Ti, Ta, W等をターゲットとし、強磁場マグネトロン方式の電極により成膜が出来ます。
MSP-40Tのマグネトロン電極はターゲット金属表面に沿って外周から中心方向に磁場を作り、ターゲット全面を有効に利用できる様にしてあります。
MSP-40Tのマグネトロン電極は水冷冷却面にセットされスパッタ中も冷却されています。
MSP-40Tはターゲット電極の周囲に静電シールドを設けてターゲット面でのイオン密度を向上させています。静電シ－ルドは拡散するスパッタ粒子を試料台上に収斂させる効果があります。
MSP-40Tの試料台はアノードと絶縁したフローティング構造にしてありますので、コーティング中の電子が試料に流れ込まず、試料の温度上昇とイオンダメージを軽減しています。
MSP-40Tは真空排気系にダイアフラムポンプ（DFP）、ターボ分子ポンプ（TMP）を採用し、完全油フリーの清浄真空での高真空イオンスパッタを可能にしております。