バルジ測定器　薄膜ヤング率測定装置

バルジ測定器　薄膜ヤング率測定装置

薄膜に均一に応力を加え、その歪み量を計測することで薄膜のヤング率を測定
光ヘテロダイン変位計の汎用性の高い特性を生かした、バルジ測定器

【特徴】
○PCでヘテロダイン変位計、ポンプ操作、弁操作を行い、データを取得
　取得したデータによりカーブフィット作業を行い、ヤング率および内部応力を求める
○非接触かつ高精度に計測
○全自動で測定し、繰り返し測定も簡単
○薄膜固定部の取り替えで様々な薄膜に対応
○変位量分解能：1nm（HV400使用時）、10nm（HV250使用時）
○圧力測定分解能：0.1Torr
○最大付加圧力：-300Torr
○最大試料径：15cm
○測定領域試料最大径：50mm
○測定モード：全自動モードまたはマニュアルモード
○真空系・ステージ系などの変更により自動制御性
　 応力範囲など仕様はユーザの要求に合わせてカスタマイズする事が可能

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。