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最終更新日:2012/03/15

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MOCVD装置 「Doctor T」

基本情報MOCVD装置 「Doctor T」

独自開発のシステムでFeRAM-LSIの大量生産を実現

MOCVD装置「DoctorT」は、産学協同により世界で初めて製品化に成功しました。特許取得済み独自コンセプトの気化器を搭載し、多様な有機金属化合物の成膜が可能です。今まで困難とされていたCVD法によるPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)、SBT(タンタル酸ビスマスストロンチウム)などの強誘電体成膜の問題点を克服し、FeRAM-LSIの大量生産を可能にした画期的な強誘電体薄膜CVD装置です。本製品により次世代FeRAM-LSI生産技術の飛躍的な発展が期待されます。また、電極用金属、PZT・SBTを始め様々な組成の金属酸化物薄膜を形成することが可能なため、FeRAM以外の分野へも幅広く応用が可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

MOCVD装置 「Doctor T」

MOCVD装置 「Doctor T」 製品画像

MOCVD装置「DoctorT」は、産学協同により世界で初めて製品化に成功しました。特許取得済み独自コンセプトの気化器を搭載し、多様な有機金属化合物の成膜が可能です。今まで困難とされていたCVD法によるPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)、SBT(タンタル酸ビスマスストロンチウム)などの強誘電体成膜の問題点を克服し、FeRAM-LSIの大量生産を可能にした画期的な強誘電体薄膜CVD装置です。本製品により次世代FeRAM-LSI生産技術の飛躍的な発展が期待されます。また、電極用金属、PZT・SBTを始め様々な組成の金属酸化物薄膜を形成することが可能なため、FeRAM以外の分野へも幅広く応用が可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。 (詳細を見る

取扱会社 MOCVD装置 「Doctor T」

株式会社渡辺商行

【関連製造部門】 ・(株)ワコム製作所 石英ガラス製品(ASM Epsilion石英部品、各種加工品)、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア ・(株)トムコ フォトマスク洗浄装置、ウエーハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工 ・(株)天谷製作所 常圧CVD装置、MO-CVD装置 【理科医療器材】 旭硝子(株)製品パイレックスガラス製品、組織培養製品、その他理化学機器製品等 【環境関連】 ソーラ用Siウエハ、セパレーター&クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、ソーラーシミュレーター、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック 【研究開発部門】 (株)ワコム研究所 MO-CVDによる各種誘電体薄膜の開発 【素材・部品関連】 コバレントマテリアル(株)製品(石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連、超高圧水銀ランプ

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