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最終更新日:2012/03/15

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半導体用常圧CVD(APCVD)装置 「シリコン酸化膜成膜装置」

基本情報半導体用常圧CVD(APCVD)装置 「シリコン酸化膜成膜装置」

高性能、高スループット、高メンテナンス性の成膜装置のラインナップ

半導体用常圧CVD(APCVD)装置「シリコン酸化膜成膜装置」は、半導体・太陽電池等で使用するエピタキシャルウェハのバックシール用としてのSiO2膜、層間絶縁膜としての、SiO2膜・P(リン)をドープしたPSG膜・B(ボロン)とP(リン)をドープしたBPSG膜が、成膜可能です。ウェハサイズ(~6",8",12")や、生産量等などのご要望に合わせて、豊富な装置ラインナップから最適な装置のご提案を致します。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

取扱会社 半導体用常圧CVD(APCVD)装置 「シリコン酸化膜成膜装置」

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【関連製造部門】 ・(株)ワコム製作所 石英ガラス製品(ASM Epsilion石英部品、各種加工品)、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア ・(株)トムコ フォトマスク洗浄装置、ウエーハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工 ・(株)天谷製作所 常圧CVD装置、MO-CVD装置 【理科医療器材】 旭硝子(株)製品パイレックスガラス製品、組織培養製品、その他理化学機器製品等 【環境関連】 ソーラ用Siウエハ、セパレーター&クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、ソーラーシミュレーター、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック 【研究開発部門】 (株)ワコム研究所 MO-CVDによる各種誘電体薄膜の開発 【素材・部品関連】 コバレントマテリアル(株)製品(石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連、超高圧水銀ランプ

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