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最終更新日:2012/03/15

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太陽電池用常圧CVD(APCVD)装置 「AMAX1000S」

基本情報太陽電池用常圧CVD(APCVD)装置 「AMAX1000S」

結晶太陽電池セル用量産装置を新たにリリースしました

太陽電池用常圧CVD(APCVD)装置「AMAX1000S」は、太陽電池(セル)製造用に開発されたハイスループット連続式常圧CVD(APCVD)装置です。拡散用ハードマスクやパッシベーション用のSiO2膜、固相拡散源としての、P(リン)をドープしたPSG膜、B(ボロン)をドープしたBSG膜が常圧下で成膜可能です。量産用装置(AMAX1000S)の他、R&D用装置(D501)もラインナップ。お客様の要望に合わせた装置をご提案致します。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

シリコン酸化膜成膜装置(常圧CVD)「AMAX1000S」

シリコン酸化膜成膜装置(常圧CVD)「AMAX1000S」 製品画像

 「AMAX1000S」は、結晶系太陽電池(セル)製造用固相拡散ソース膜・ハードマスク/拡散バリア膜・パッシベーション膜(保護膜)等の成膜を目的とした、高スループット連続式常圧CVD(APCVD)装置です。

 拡散層(p+/++層、n+/++層、BSF層、FSF層等)形成において、形状(拡散濃度/深さ)、シート抵抗を容易に制御する事が可能です。また、拡散源として使用した膜をそのまま次の拡散のバリア膜やパッシベーション膜として使用する事もでき、セル製造工程削減にも寄与することができます。

 ウェハを搬送するトレーの材質はSiCである為、変換効率低下原因のひとつであるメタルコンタミ(金属汚染)増加を抑制しています。

 その他、目的別に装置ラインナップを揃えており、デモ装置によるサンプル成膜も可能です。詳しくはお問合せください。 (詳細を見る

太陽電池用常圧CVD(APCVD)装置 「AMAX1000S」

太陽電池用常圧CVD(APCVD)装置 「AMAX1000S」 製品画像

太陽電池用常圧CVD(APCVD)装置「AMAX1000S」は、太陽電池(セル)製造用に開発されたハイスループット連続式常圧CVD(APCVD)装置です。拡散用ハードマスクやパッシベーション用のSiO2膜、固相拡散源としての、P(リン)をドープしたPSG膜、B(ボロン)をドープしたBSG膜が常圧下で成膜可能です。量産用装置(AMAX1000S)の他、R&D用装置(D501)もラインナップ。お客様の要望に合わせた装置をご提案致します。詳しくはカタログをダウンロードしてください。 (詳細を見る

取扱会社 太陽電池用常圧CVD(APCVD)装置 「AMAX1000S」

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【関連製造部門】 ・(株)ワコム製作所 石英ガラス製品(ASM Epsilion石英部品、各種加工品)、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア ・(株)トムコ フォトマスク洗浄装置、ウエーハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工 ・(株)天谷製作所 常圧CVD装置、MO-CVD装置 【理科医療器材】 旭硝子(株)製品パイレックスガラス製品、組織培養製品、その他理化学機器製品等 【環境関連】 ソーラ用Siウエハ、セパレーター&クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、ソーラーシミュレーター、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック 【研究開発部門】 (株)ワコム研究所 MO-CVDによる各種誘電体薄膜の開発 【素材・部品関連】 コバレントマテリアル(株)製品(石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連、超高圧水銀ランプ

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