株式会社SPD研究所
最終更新日:2012-03-28 18:08:32.0
SPD薄膜形成装置 KM-300
基本情報SPD薄膜形成装置 KM-300
取り外し・自動運転が可能な強力排気と粉末分離システム!
SPD薄膜形成装置KM-300は、300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために、特別なスキャニングパターンを持つ三つのスプレーノズルを使用しています。下方向への強力排気と粉末分離システムで、取り外して洗浄、または自動運転が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。
SPD薄膜形成装置 KM-300
SPD薄膜形成装置KM-300は、300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために、特別なスキャニングパターンを持つ三つのスプレーノズルを使用しています。下方向への強力排気と粉末分離システムで、取り外して洗浄、または自動運転が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。 (詳細を見る)
非真空&卓上サイズ!「SPD 薄膜製造装置シリーズ」サンプル進呈
SPD方式の小型低コスト成膜装置(薄膜製造装置)シリーズです。
SPDの装置は、真空でなくとも生成できるため、クリーンルームも必要なし。
また、設備も卓上タイプでコンパクトなため、実験室や開発現場での使用に最適です。
【特長】
■卓上タイプのコンパクトな薄膜製造装置
■非真空のため、クリーンルームも必要なし
【ラインナップ】
■KM-300 ■KV-25 ■KV-50
■KM-150 ■KV-100
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 SPD薄膜形成装置 KM-300
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