株式会社メープル
最終更新日:2010-12-13 11:36:15.0
マルチ真空プロセス用 真空搬送ユニット
基本情報マルチ真空プロセス用 真空搬送ユニット
6角形のセンターチャンバーを採用 マルチ真空プロセス用、真空運搬ユニット
【特徴】
○ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペース化を実現
○センターチャンバーのメインポンプ(ターボ分子ポンプ)を
上部蓋に取り付け、高メンテナンス性を実現
○独自開発の真空搬送ロボットを搭載
○各室独立の真空排気系を装備
(但し、センターチャンバーと、ロードロック室は共用)
○φ300Siウエハーを13枚搭載可能なセットロードロック室を装備
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
マルチ真空プロセス用 真空運搬ユニット
6角形のセンターチャンバーを採用
マルチ真空プロセス用、真空運搬ユニット
【特徴】
○ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペース化を実現
○センターチャンバーのメインポンプ(ターボ分子ポンプ)を
上部蓋に取り付け、高メンテナンス性を実現
○独自開発の真空搬送ロボットを搭載
○各室独立の真空排気系を装備
(但し、センターチャンバーと、ロードロック室は共用)
○φ300Siウエハーを13枚搭載可能なセットロードロック室を装備
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 マルチ真空プロセス用 真空搬送ユニット
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