三和真空株式会社
最終更新日：2018-05-22 14:56:04.0
三和真空 会社案内
基本情報三和真空 会社案内
真空機器で御馴染の三和真空の会社案内、豊富な情報を取り揃え取ります！
会社案内、製品情報が載っております。
弊社三和真空のHPがリニューアル中に伴いデータが消失しているために、イプロスからダウンロードして頂けると情報をご覧頂けます。詳しい情報はこちらから、お願致します。
ミニeビームエバポレーター
高度な制御が可能で多くの材料に対して0.1～50Å/minの範囲でコントロールが可能。
≪用途≫
数nmの薄膜作製、半導体ドーピング
≪特長≫
■冷却効率で今民ネーションフリーの設計
■材料はロッドまたはルツボ充鎮の選択
■標準搭載のフラックスモニタリングプレートにより精密な膜厚コントロール可能
■1ポケットと4ポケットのタイプがあり、4ポケットは、それぞれ独立した制御が可能なタイプと最高４つの材料の同時蒸着が可能なタイプ （詳細を見る）
サドルフィールドファーストアトム（FAB）ビームソース
ビームを中性化することで、これまで電荷粒子が問題になっていた誘電体や半導体への照射やエッチングプロセスにも最適です。
≪用途≫
■成膜前の基盤クリーニング
■常温接合前のサンプルクリーニング、表面の活性化
■半導体基板等のエッチング
■微細加工
■リアクティブアトムビームエッチング
≪特長≫
■電荷を持ったイオンによる衝撃と異なり、絶縁物や半導体試料にもチャージダメージなし
■ビームが電荷を持たないので、電場や磁場中でも曲がらず直進します （詳細を見る）
取扱会社 三和真空 会社案内
【自社開発真空部品事業】 オリジナル商品事業 自社開発商品(NW継ぎ手、フレキ関連他) オリジナル加工事業 国内・・・試作／開発製品の生産 海外・・・量産／原価低減製品の生産 【真空科学・研究用機器事業】 海外販売代理店業務 英国：oxford applied research社(VSW‐Atomtech社) 表面科学・ナノサイエンス研究機器メーカー 国内販売代理店業務 株式会社ユーテック (真空製膜装置製造メーカー) 株式会社アールバキュームラボ (電子導入端子／宇宙開発／超高真空／研究開発メーカー) 入江工研株式会社 (金属ベローズ／大型ゲートバルブを得意とする真空部品メーカー)
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