ジャパンクリエイト株式会社
最終更新日:2012-08-22 17:03:56.0
スピン洗浄装置 SPINNER スピナー
基本情報スピン洗浄装置 SPINNER スピナー
エッチング装置/ウエハ洗浄装置/スピンドライヤー等の半導体製造装置メーカー、ジャパンクリエイト株式会社の製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
小型コンパクトの「スピナー MSC-200型」、φ2"~φ6"基板対応の「卓上型マニュアルスピンコーター MSCD-300型」、300mm□ガラス基板対応の「卓上型マニュアルスピンコーター MSCD-500型」、現像液温度精度±1℃の「フルオートスピンナー JASC-150型」など多数掲載しています。
スピン洗浄装置 スピナー MSC-200型
ジャパンクリエイト株式会社のスピンナーは数あるスピンナーの中で性能、価格に重視し開発されている製品です。研究所、学校等に使用して頂く実験用のマニュアルスピンナーです。主にシリコンウェハー(ガリ砒素、ガラス、セラミック)等のレジストコーティングをはじめとして、現像装置、エッチング装置、剥離装置、スピン乾燥装置等の応用も可能です。
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スピン洗浄装置 卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型
MSC-300型は、φ2"~φ6"基板対応のディスペンサー付卓上型マニュアル式スピンコーターです。ディスペンスアームを2本備え自動で塗布できます。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。
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スピン洗浄装置 卓上型マニュアルスピンコーター MSC-500型
MSC-500型は、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式スピンコーターです。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。
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スピン洗浄装置 フルオートスピンナー JASC-150型
JASC-150型は、現像液温度精度±1℃のフルオートスピンナーです。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応します。高精度のロボット採用により、高スループット化を実現しました。
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スピン洗浄装置 自動レジストスピンコーター JASC-200型
JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは2"□~5"□基板又はφ2"~φ5"基板に適用します。
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スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A
高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。
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スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型
自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。
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スピン洗浄装置 スプレー現像装置 SD-8004型
SD-8004型は、4"~8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。
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『High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置』
『圧電膜形成スパッタリング装置』は、単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで連続成膜することが可能な製品です。
プラズマエミッションモニターによるプラズマ分析とフィードバック制御により、高速かつ安定したリアクティブスパッタ成膜、圧電特性低下に寄与する元素検知も可能です。
当社独自の急速昇降温基板加熱機構を搭載しており、基板温度900℃を実現します。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
PETボトル用プラズマCVD装置
当製品は、当社が得意としているプラズマCVDプロセス技術を応用し、
樹脂容器材質として一般的に普及している「PETボトル」への
DLCコーティングに特化した成膜装置です。
PETボトル内面へサブミクロンオーダーのDLC薄膜コーティングを施すことで、
内容物の酸化による風味劣化防止や、炭酸成分の溶出防止、
また容器軽量化による物流コストの低減などに貢献します。
【特長】
■必要生産本数により、様々な装置構成のご提案可能
■3L容器までコーティング可能
■3L以上の容器に関してもご相談下さい
■PET樹脂以外の樹脂材質に関してもご相談下さい
■金属材質に関してもご相談下さい
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 スピン洗浄装置 SPINNER スピナー
当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました!!(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品:プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156 千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。
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