マック産業機器株式会社テクノロジーセンター
最終更新日：2013-05-28 18:50:21.0
ウエハケミカル洗浄装置『ME-100』
基本情報ウエハケミカル洗浄装置『ME-100』
本体もコンパクトで純水使用量を抑えた低コストな洗浄装置！
8インチウエハに薬液槽を２槽（SC1．SC2)を備えた ケミカル処理及び２段階リンス洗浄処理をマニュアルにて行います。 3次元実装の為のTSV技術工程での洗浄に最適な製品となっております。また、大変コンパクトな設計となっており、省スペースで済みます。純水の使用量も抑えた経済的にも優れています。シャワーノズル付きでケミカル槽を簡単洗浄することも可能になっています。
●その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
ME-100 3次元実装用マニュアルタイプウエハケミカル洗浄装置
処理枚数は1-3枚の少量対応の為、研究・実験の用途に最適です。
100V電源で設置に制約がありません。
コンパクトなので１ｍ2（平方メートル）あれば設置可能と経済的です。
純水リンスはカスケード方式による純水使用量を抑えた低コストです。
ケミカル温度をコントロールが可能です。
比抵抗計によりリンス効果を判断します。
ウエハカセットは傾斜を持たせ、ウエハ表面側に液残留を防止します。
将来、２槽（下部タンク共）追加可能なスペースを確保しています。
エアーガン付です。
シャワーノズルでケミカル槽を簡単洗浄出来ます。 （詳細を見る）
取扱会社 ウエハケミカル洗浄装置『ME-100』
１．産業用ロボットの製造・販売。 ２．半導体試験装置、半導体検査及び半導体搬 送装置を含む半導体製造装置の製造販売 ３．液晶用搬送装置の製造、販売 ４．枚葉式スピン洗浄装置、スピンエッチング 装置の製造、販売 ５．太陽電池用シリコンウエハセパレーター 薄膜シリコンガラスエッチング CIGS用ガラス基板洗浄装置 等の製造、販売。
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