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最終更新日:2012/10/12

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  • カタログ発行日:2012/04

半導体関連装置 総合カタログ

基本情報半導体関連装置 総合カタログ

システムメーカーとしての長年の経験、ノウハウを活かしたシステム構成をご提案します。

EFEM、ソーター、ウェーハ搬送ロボット、FOUPオープナー、SMIF、アライナなどの総合カタログです。

ウェーハ搬送システム EFEM

ウェーハ搬送システム EFEM 製品画像

高速搬送と高クリーンを実現するウェーハ受け渡し装置。 (詳細を見る

ウェーハ搬送ロボット 大気対応 AR-Wn180CL

ウェーハ搬送ロボット 大気対応 AR-Wn180CL 製品画像

軽量化・省スペースに対応。

【機能】
○高クリーン性能
 磁性流体シール等により、パーティクルの発生を抑制
○高スループット
 業界トップクラスの500枚/hの搬送を実現
○バッテリーレス
 業界初のABSエンコーダ採用により、バッテリー交換が不要
○小フットプリント
 徹底した軽量化、省スペース化を追求
○高速ロボットコントローラ
 処理速度8倍アップ(当社従来比)

●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードしてください。 (詳細を見る

ウェーハ搬送ロボット 真空対応 AR-WVシリーズ

ウェーハ搬送ロボット 真空対応 AR-WVシリーズ 製品画像

高精度、高速輸送により、高スループットを実現します。 (詳細を見る

ロードポート FOUPオープナ

ロードポート FOUPオープナ 製品画像

差圧を必要としない機構設計と、気流解析による清浄空間の確保。 (詳細を見る

ロードポート SMIFポッドオープナ(アーム付)

ロードポート SMIFポッドオープナ(アーム付) 製品画像

半導体関連生産設備では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれらを統合したEFEMなどを製造・販売しています。 (詳細を見る

ロードポート SMIFポッドオープナ(マニュアル)

ロードポート SMIFポッドオープナ(マニュアル) 製品画像

半導体関連生産設備では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれらを統合したEFEMなどを製造・販売しています。 (詳細を見る

ロードポート SMIFポッドオープナ(自動開閉)

ロードポート SMIFポッドオープナ(自動開閉) 製品画像

上位装置へドッキングすることで、ミニエンバイロメントを実現しました。 (詳細を見る

ウェーハ位置決め装置 プリアライナ KWAシリーズ(吸着式)

ウェーハ位置決め装置 プリアライナ KWAシリーズ(吸着式) 製品画像

接触面積を最小限にすることでパーティクルの発生を抑制します。

【機能】
○ 高速アライメント
 非接触(センサ方式)で、オリフラタイプ・ノッチタイプに対応
 アライメント時間 2秒以下
 補正精度 ±0.2°で高速処理による高アライメントを実現
○ レーザ式エッジ検出

● その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

ウェーハ位置決め装置 エッジグリップアライナ

ウェーハ位置決め装置 エッジグリップアライナ 製品画像

ウェーハ裏面非接触で、パーティクル汚染を抑えたエッジグリップ方式を採用しています。 (詳細を見る

ウェーハ搬送システム ウェーハソータ

ウェーハ搬送システム ウェーハソータ 製品画像

クリーン度実績のある自社製コンポーネントを使用し、FFUの最適な気流制御により高クリーン性能を実現しました。 (詳細を見る

ウェーハ搬送ロボット 大気対応

ウェーハ搬送ロボット 大気対応 製品画像

磁性流体シール等により、パーティクルの発生を抑制しました。 (詳細を見る

取扱会社 半導体関連装置 総合カタログ

平田機工株式会社

各種生産システム、産業用ロボットおよび物流関連機器等の製造ならびに販売

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