THKプレシジョン株式会社
最終更新日：2022-02-14 16:43:15.0
ピエゾステージ PSベーシックタイプカタログ
基本情報ピエゾステージ PSベーシックタイプカタログ
豊富なラインナップで幅広い用途に最適なPSベーシックタイプです。X軸、XY軸、Z軸、XYZ軸をご用意しております。
ピエゾステージのPSベーシックタイプは、弾性ヒンジ構造による高速応答、高精度位置決めを行うタイプです。単軸および多軸一体型、幅広いストロークなど豊富なラインナップから用途に合わせて選択することが可能です。
高速・高精度位置決めで圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。1軸（X, Z）、2軸（XY）、3軸（XYZ）をラインナップしています。
さらにダイレクト機構と拡大機構の2タイプの機構を選択できます。弾性変形を利用したガイド機構はバックラッシや摩擦摩耗がないため、ナノメートルの位置決めに適しています。弾性ヒンジを用いたピエゾステージは、高分解能を保ちつつ高い真直性を実現することが可能です。
HDDテスト、半導体・液晶検査装置、干渉計機器、光ピックアップ検査、評価、共焦点顕微鏡、ナノメータポジショニング等にご利用いただけます。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【ピエゾステージ】PSベーシックタイプ X軸
超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのX軸ステージです。
ストロークとして、6～700μmまでラインアップしています。
圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。
インターフェースも使い易く、制御コントローラは「アナログ入力」と「デジタル入力」の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。
サンプルソフト（無償）も用意しています。
また、単品からでもカスタム対応しており、カタログ標準品以外にも真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）
【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ XY軸
超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXY軸ステージです。
XY軸ステージはストロークが30/30μmから500/500μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。
PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで
圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。
使いやすいインターフェースが自慢で、制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。
サンプルソフト（無償）も用意しています。
また、単品からカスタム対応しており、カタログ標準品以外でも、真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。
※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）
【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ Z軸
超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのZ軸ステージです。
Z軸ステージはストロークが6μmから300μmまで、本体サイズが35×35×26nmから80×80×60nmまでの製品を豊富なラインアップで取り揃えております。
PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。
使いやすいインターフェースが自慢で、制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。
サンプルソフト（無償）も用意しています。
また、単品からカスタム対応しており、カタログ標準品以外でも、真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。
※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）
【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ XYZ軸
超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXYZ軸ステージです。
XYZ軸ステージはストロークが20/20/12μmから80/80/80μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。
PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。
使いやすいインターフェースが自慢で、制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。
サンプルソフト（無償）も用意しています。
また、単品からカスタム対応しており、カタログ標準品以外でも、真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。
※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）
取扱会社 ピエゾステージ PSベーシックタイプカタログ
圧電アクチュエータを主な駆動源としたナノメートルの超精密位置決めユニットの専門メーカーとして、半導体や液晶、超精密加工、光ピックアップ、プローブ顕微鏡、光デバイスなど、検査・測定から製造装置にいたるまで様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。 また、μN～mNレベルの微小な力を検知測定するフォースセンサも製造・販売しています。 カタログ標準品だけでなく、個別仕様に合わせたカスタマイズにも短納期で対応可能です。
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