真空機器関連商品　EBEP処理装置＜FAP-EB/2D＞

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基本情報真空機器関連商品　EBEP処理装置＜FAP-EB/2D＞

各種真空装置の開発・設計・製作・サービスなどを行っている株式会社片桐エンジニアリングの製品カタログです。

【掲載内容　※詳しくはカタログをご覧ください】
低圧高密度プラズマによる高速・高品質表面処理装置で、CVD、エッチング、表面改質のプロセスに最適な「真空機器関連商品　EBEP処理装置＜FAP-EB/2D＞」

真空機器関連商品　EBEP処理装置＜FAP-EB/2D＞

真空機器関連商品　EBEP処理装置＜FAP-EB/2D＞は、低圧高密度プラズマによる高速・高品質表面処理装置で、CVD、エッチング、表面改質のプロセスに最適です。低圧力領域においてエネルギー可変電子ビームにより、プロセスガスを高効率に解離、電離を行なうことができ、高密度の活性種を生成することが可能。CCPプラズマ、ICPプラズマでは達成できないプラズマ状態を生成し、様々な材料の精密成膜、エッチング、表面改質ができます。φ100mmの酸化物、金属、樹脂等の成膜、表面改質に対応。ステージ加熟（Max500℃）、バイアス印加による高速高精度処理が容易となっております。
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取扱会社真空機器関連商品　EBEP処理装置＜FAP-EB/2D＞

株式会社片桐エンジニアリング

○各種真空装置の開発・設計・製作・サービス ○半導体製造装置の開発・設計・製作・サービス ○一般機械装置の開発・設計・製作・サービス

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