株式会社エイエルエステクノロジー
最終更新日：2015-07-15 13:18:51.0
有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置
基本情報有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置
研究用真空装置の製造販売、真空装置の改造などを行っている、株式会社エイエルエステクノロジーの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
蒸着中の薄膜の光学特性をリアルタイムに測定することが可能になるのが特徴の「有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置」
有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置
当社では、真空蒸着装置と高速分光エリプソメータを組み合わせた
『有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置』の設計・製造・販売を行っております。
【特徴】
○真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能
○蒸着室 寸法：280ｍｍ（幅）ｘ290ｍｍ（奥行き）ｘ410ｍｍ（高さ）
○エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能（100度/120度/140度）
○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ）
○外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート
○真空排気ポート（NW40）1ポート
○最大基板サイズ：Φ110ｍｍ
○基板加熱もしくは基板冷却機構
○蒸発源：2源（同時2源）
○水晶膜厚計、基板シャッター付き
○高真空ポンプ：ターボポンプ （詳細を見る）
取扱会社 有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置
■研究用真空装置の製造販売 ・有機EL研究用蒸着装置 ・昇華精製装置 ・キャリアボックス ・試験用チャンバー ・スパッタリング装置 ・UHV排気装置 ・特注真空装置 ・特注真空応用部品 ・研究・実験用の部品 < 真空部品の販売 > ・キヤノンアネルバ株式会社の扱う真空部品などの販売 ・ULVAC社の扱う真空部品などの販売 ・ファイファー製品の販売（ターボポンプ、真空計 等） ■真空装置の改造 ■真空装置の保守サービス ■中古真空装置および中古のユニットの改造・販売 （東京都公安委員会承認の古物商資格取得） ■輸入販売業務 ・R.D.Mathis（米国ロスアンゼルス） 蒸着ボートの販売
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