周辺機器　真空プローバーシステム

当社では、お客様のニーズに応えて新しい真空システム
『周辺機器　真空プローバーシステム』の設計・製造・販売を行っております。

【特徴】
○真空チャンバー部分は内寸φ150（内径）ｘ90ｍｍ（高さ）と
大き目な設計のため冷却、加熱機構の他、研究用途に応じた対応が可能
○本体寸法：420ｍｍ（幅）ｘ420ｍｍ（奥行き）ｘ545ｍｍ（高さ）
○チャンバー内寸：φ150（内径）ｘ90ｍｍ（高さ）
○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ）
○外部フィードスルー用ポート（NW40）：3ポート
○真空排気ポート（NW40)：1ポート
○プローブ移動機構：X-Y-Zステージ　移動量±5ｍｍ
　　　　　　　　　　　　　　目盛り付き移動シール部　真空ベローズ
○プローブ先端金具：先端部首振り可能（ねじ固定式）
○探針：タングステン針（先端25μｍ）
○試料台寸法：φ70ｍｍ接地型
○最大基板：口30ｍｍ
○高真空バルブ：NW40アングルバルブ （詳細を見る）