ロータリーポンプコントロールシステム

ポンプで節電、高真空装置の設置場所を静かで快適な環境に

"ロータリーポンプをコントロールすることにより、消費電力・振動・
発熱量・音響ノイズを低減させる製品です。
多くの高真空装置では、高真空ポンプの粗引きとしてロータリー
ポンプが終夜運転されております。しかし、装置内が高真空に
到達した後では、アウトガスは極少量になります。
このシステムでは、ロータリーポンプと高真空ポンプの間に
バッファーチャンバーを入れ、その真空度をモニターすることにより、装置内は高真空に保ちながら、ロータリーポンプを間欠的に
運転・停止させます。"