株式会社ジェーイーエル
最終更新日:2013-06-25 11:38:33.0
3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000CSシリーズ
基本情報3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000CSシリーズ
電子機器の製造販売などを行っているジェーイーエルの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適している「3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000CSシリーズ」
3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000CSシリーズ
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3000CSシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能で、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。
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取扱会社 3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000CSシリーズ
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