株式会社ジェーイーエル
最終更新日:2013-06-25 11:38:33.0
4軸円筒座標型クリーンロボット STHR4000シリーズ
基本情報4軸円筒座標型クリーンロボット STHR4000シリーズ
電子機器の製造販売などを行っているジェーイーエルの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能な「4軸円筒座標型クリーンロボット STHR4000シリーズ」
4軸円筒座標型クリーンロボット STHR4000シリーズ
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型ツインアームロボットSTHR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でのウェーハの交換が可能です。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
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取扱会社 4軸円筒座標型クリーンロボット STHR4000シリーズ
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