株式会社ジェーイーエル
最終更新日：2013-06-25 11:38:33.0
防水対応3軸円筒座標型ロボット SWHR3156シリーズ
基本情報防水対応3軸円筒座標型ロボット SWHR3156シリーズ
電子機器の製造販売などを行っているジェーイーエルの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適な「防水対応3軸円筒座標型ロボット SWHR3156シリーズ」
防水対応3軸円筒座標型ロボット SWHR3156シリーズ
防水対応3軸円筒座標型ロボットSWHR3156シリーズは、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付です。保護等級IP64で、LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
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取扱会社 防水対応3軸円筒座標型ロボット SWHR3156シリーズ
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