株式会社ジェーイーエル
最終更新日：2013-06-25 11:38:33.0
3軸円筒座標型クリーンロボット MCR3000Cシリーズ
基本情報3軸円筒座標型クリーンロボット MCR3000Cシリーズ
電子機器の製造販売などを行っているジェーイーエルの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れているのが特徴の「3軸円筒座標型クリーンロボット MCR3000Cシリーズ」
3軸円筒座標型クリーンロボット MCR3000Cシリーズ
スーパークリーンルーム用300mm対応MCR3000Cシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
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