株式会社ジェーイーエル
最終更新日：2013-06-25 11:38:33.0
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ
基本情報真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ
電子機器の製造販売などを行っているジェーイーエルの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂ける「真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ」
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)と、溶接ベローズ(ストローク60mm)で耐真空度は1.33×10＾-6Paとなります。
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取扱会社 真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ
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