ピエゾステージ　PK開口付きタイプ　カタログ

超精密位置決めピエゾステージのPK開口付きタイプX軸ステージです。
ストローク30μmと100μmをご用意しております。

レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。

■高速、高精度スキャニング動作
圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能・高再現性で位置決めが可能。
微小範囲においては、ステッピングモータ式ステージに比べて速く且つ信頼性の高い動作が得られます。

■使いやすいインターフェース
制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。
ポイント間移動だけでなく、ラスタースキャンのような連続往復動作、真円を描くような円弧動作も可能。

特殊環境（真空・非磁性など）のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。

※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXY軸ステージです。
ストロークは100/100μmから300/300μm、分解能は2/2nmから6/6nmまでの５つのラインナップからお選びいただけます。

移動テーブル中央に開口（透過穴）を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。

■コンパクトから大開口まで
小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。

■スムーズで精確なスキャニング
高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。

また、特殊環境（真空・非磁性など）のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。

※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）

超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXYZ軸ステージです。
ストロークが100/100/30μmから300/300/100μmまでの製品を取り揃えております。

PK開口付きタイプは移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプです。顕微鏡や分析機器と組み合わせて、微細観察や高精度マッピング測定に最適です。
高速、高精度スキャニング動作で、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能・高再現性で位置決めが可能です。微小範囲においては、ステッピングモータ式ステージに比べて速く且つ信頼性の高い動作が得られます。

使いやすいインターフェースで制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。ポイント間移動だけでなく、ラスタースキャンのような連続往復動作、真円を描くような円弧動作も可能です。
また、特殊環境（真空・非磁性など）のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。

※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）