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最終更新日:2021-03-18 11:22:05.0

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バッチ式プラズマ処理装置 WPA-600S

基本情報バッチ式プラズマ処理装置 WPA-600S

価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサ。各アッシング条件の管理を行うことが出来る高性能でコストパフォーマンスに優れた装置。

小型の電力整合方式マッチャーを採用しており、プラズマ整合の高速化を実現しております。整合時間の短縮化により、プラズマ着火時における素子へのチャージアップダメージの低減を実現しております。
また本体以外はPUMPのみの省スペース化を実現しております。

バッチ式プラズマ処理装置 WPA-600S

バッチ式プラズマ処理装置 WPA-600S 製品画像

小型の電力整合方式マッチャーを採用しており、プラズマ整合の高速化を実現しております。整合時間の短縮化により、プラズマ着火時における素子へのチャージアップダメージの低減を実現しております。また本体以外はPUMPのみの省スペース化を実現しております。 (詳細を見る

豊富な実績!プラズマ処理加工【小ロット・短納期に対応!】

豊富な実績!プラズマ処理加工【小ロット・短納期に対応!】 製品画像

様々な材質を用途に合わせプラズマ処理いたします。
小ロット・短納期で対応可能です。

【用途例】
『洗浄』『表面改質』『接着効果のUP』など、御社のニーズに合わせて処理いたします。
試作用や小ロットでの加工をお考えの企業様、お気軽にお問合せください

★詳しくは、お問合せ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 (詳細を見る

取扱会社 バッチ式プラズマ処理装置 WPA-600S

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○プラズマ応用装置の開発、製造、販売 ・プラズマ装置 ・サポート業務 ○各種産業機械の開発・製造・販売 ○電磁アクチュエーター(ソレノイド)の開発・製造・販売 ○開発・製造委託業務 ・開発設計 ・製造委託 ○各種治工具類 設計・製作

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