プラズマ処理装置　WLP600S

WLP600Sは、平行平板方式のプラズマ処理装置です。
6インチと8インチのウエハーに対応し、低価格・省スペースを実現しました。
コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの2種類のプラズマ方式を切り替えられ、ポリイミド系樹脂のエッチングやフォトレジストの表面改質など多様な用途にご利用頂けます。

【特徴】
○容易なプラズマモード切替
○高速追従性
○省フットプリント
○多種多様なプロセスに対応
○多種多様なカスタマイズ性

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

様々な材質を用途に合わせプラズマ処理いたします。
小ロット・短納期で対応可能です。

【用途例】
『洗浄』『表面改質』『接着効果のUP』など、御社のニーズに合わせて処理いたします。
試作用や小ロットでの加工をお考えの企業様、お気軽にお問合せください

★詳しくは、お問合せ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）