リオン株式会社
最終更新日:2019-05-17 11:55:32.0
パーティクルカウンター 液中 レジスト・SOG 0.15μm KS-41A
基本情報パーティクルカウンター 液中 レジスト・SOG 0.15μm KS-41A
0.15μmの粒子を、フォトレジスト溶液やSOG などから測定可能
●測定粒径範囲:0.15 μm~0.5 μm (10粒径同時測定)
●液漏れセンサ内蔵本体内で液漏れ発生時に警報を出力
パーティクルカウンター液中 レジスト0.15μm KS-41A
液中パーティクルカウンター KS-41A
フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定
国内製造・国内メンテナンスの充実したサポート体制 (詳細を見る)
取扱会社 パーティクルカウンター 液中 レジスト・SOG 0.15μm KS-41A
パーティクルカウンター 液中 レジスト・SOG 0.15μm KS-41Aへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。