バルブ「インラインフィルター」《INF2》

溶接継手「自動溶接継手」は、半導体・液晶製造装置等の高純度ガス系に使用される自動溶接機対応の継手です。成分調整された清浄ステンレス鋼から製造されクリーンルーム内で真空２重包装されています。精密機械加工により寸法のバラツキが極めて少なく、また、用途に対応した多彩なラインアップを取り揃えています。詳しくはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

継手「メタルガスケットシール継手」は、AWFと同様に、高純度ガス系に使用されるメタルガスケット面シール方式の継手で、超高真空から高圧まで幅広い範囲で漏れのない接続を行う、高純度配管に対応した高性能シール継手です。溶接部品は、成分調整された清浄ステンレス鋼から製造されクリーンルーム内で真空２重包装されています。詳しくはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

クランプ式のためナットに起因するあらゆるトラブル（ねじのかじり／パーティクルの発生／供回りによるリークなど）を解消します。

詳しくはお問合せください。 （詳細を見る）

バルブ「ベローズバルブ」は、外部シールに金属製のベローズを使用し、高気密性・高耐久性を実現したバルブです。グランド部からの漏洩がないため、毒性ガスなど高い漏れ防止性能を要求される用途に最適です。バルブの開閉が一目で確認出来る、開閉インジケータを搭載し、接液部品精密洗浄による禁油処理を施してあります。詳しくはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

バルブ「メタルダイヤフラムバルブ」は、 外部シールにNi-Co合金製のダイヤフラムを使用し、高気密性、高耐久性、デッドスペースフリーを実現したバルブです。高純度流体への使用に適し、接液部品精密洗浄による禁油処理も施してあります。詳しくはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

長さなど接続継手の種類を自由に選択できるSUS316L製(接液部)のメタルフレキシブルホースです。用途に合わせ、柔軟なMHMタイプと、形状を維持するMHFタイプの2種類から、それぞれブレード付きとブレードなしを選択できます。  （詳細を見る）

≪特長≫
・エレメントは、従来のスプリング押さえ方式から、フランジ一体設計
・エレメント固定が確実、圧力変動時の影響に強い
・パーティクルの発生がない
・エレメント交換が簡単で、メンテナンス性に優れる

※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せ下さい。
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